CIQTEK、非破壊・高解像度フルカバレッジ解析を実現する12インチウェーハ検査ソリューションを発表

CIQTEK 次世代の 12インチウエハー 走査型電子顕微鏡（SEM） 解決 は、高度な半導体製造プロセスの要求を満たすように設計されています。回転や傾斜を必要とせずにウェーハ全体を検査できるこの革新的なソリューションは、高解像度の非破壊分析を実現し、重要なプロセス開発をサポートします。

搭載 超大型移動ステージ （X/Y ≥ 300 mm）のシステムは、12インチウェーハを完全にカバーし、サンプルの切断や搬送を必要とせず、真の「原寸大、原位置」観察を実現します。 ショットキー電界放出電子銃 、解像度は 1.0 nm 15 kV で 1.5 nm、1 kV で 1.5 nm の分解能を実現し、電子ビームによる損傷を最小限に抑えるため、敏感な材料や構造に最適です。

主な特徴 含む：

• 超大型移動ステージ （X/Y > 300 mm）フルウェーハ検査用

• 高解像度画像 : 15 kVで1.0 nm、1 kVで1.5 nm

• 自動ロード そして 光学航法システム 迅速なウエハ交換と正確な位置決めを実現

• インテリジェントソフトウェア オートフォーカス、非点収差補正、マルチフォーマット画像出力用

CIQTEK の 12 インチ ウェーハ検査 SEM は単なる観察ツールではありません。半導体製造における歩留まりの向上とノードの微細化を推進する重要な機器です。

9月26日～30日、武漢
CIQTEKは 8つの最先端電子顕微鏡ソリューション で 2025年中国電子顕微鏡会議 !