field emission scanning electron microscopy

フェセム | SEM5000Pro

低励起下での高解像度

その CIQTEK SEM5000Pro 高解像度ショットキー 電界放出走査電子顕微鏡(FE-SEM) 低励起電圧下でも高解像度を実現。先進の「スーパートンネル」電子光学技術を採用し、クロスオーバーフリーのビームパスと静電・電磁複合レンズ設計を実現。

これらの進歩により、空間帯電効果が低減され、レンズ収差が最小限に抑えられ、低電圧での画像解像度が向上し、1 kV で 1.2 nm の解像度が達成され、非導電性または半導体サンプルの直接観察が可能になり、サンプルの照射による損傷が効果的に低減されます。

電子光学

sem3200 Intermittent Anode

「スーパートンネル」電子光学コラム技術/レンズ内ビーム減速
空間充電効果を低減し、低電圧解像度を確保します。

★電子ビーム経路におけるクロスオーバーフリー
レンズの収差を効果的に低減し、解像度を向上します。

★電磁・静電複合対物レンズ
収差を低減し、低電圧での解像度を大幅に向上し、磁性サンプルの観察を可能にします。

★水冷式恒温対物レンズ
対物レンズ動作の安定性、信頼性、再現性を確保します。

★ 電磁ビーム偏向システムを備えた可変多孔絞り
機械的な動作なしで絞りを自動的に切り替えるため、撮影モードを素早く切り替えることができます。


低電圧高解像度画像


レンズ内電子検出器 / 試料


エバーハート・ソーンリー検出器(ETD)


格納式後方散乱電子検出器(BSED) *オプション

FESEM Retractable Back-Scattered Electron Detector (BSED)

BSEDベースのECCIモード(電子チャネリングコントラストイメージング)

「電子チャネリング効果」とは、入射電子ビームがブラッグ回折条件を満たし、多数の電子が格子を通過することで「チャネリング」効果を示し、結晶格子による電子散乱が大幅に減少することを指します。

均一な組成と研磨された平坦な表面を持つ多結晶材料の場合、反射電子の強度は入射電子線と結晶面の相対的な配向に依存します。配向のばらつきが大きい粒子は強い信号を示すため、より明るい画像が得られ、このような粒子配向マップによって定性的な特性評価が可能になります。


多様な検出器による同時多チャンネルイメージング


格納式走査透過電子顕微鏡(STEM)検出器

FESEM Retractable Scanning Transmission Electron Microscopy (STEM) Detector

>> 複数の動作モード: 明視野(BF)イメージング、暗視野(DF)イメージング、高角環状暗視野(HAADF)イメージング


CIQTEK電子顕微鏡の進歩 - さらなる選択肢

>> エネルギー分散分光法

>> カソードルミネッセンス

>> EBSD

CIQTEK FESEM顕微鏡 SEM5000Pro 画像ギャラリー


>> 材料科学 - ナノ材料


>> 材料科学 - エネルギー材料


>> 材料科学 - 高分子材料と金属材料


>> 磁性材料 - ポリマー材料と金属材料


>> 半導体材料


>> ライフサイエンス

CIQTEK SEM5000Pro FE-SEM の STEM 検出器を使用したトカゲ皮膚細胞の虹彩細胞の特性評価。

自然界の動物の色は、その形成メカニズムに基づいて、色素色と構造色の 2 つのカテゴリに分類できます。
顔料の色は、「原色」の原理と同様に、顔料の組成の変化と色の重なりによって実現されます。
一方、構造色は、主に光学原理に基づいた複雑な生理学的構造によって、異なる波長の光が反射されることで生成されます。トカゲの皮膚細胞に見られる虹彩色素は、回折格子に似た構造を有しています。この構造は「結晶板」と呼ばれています。結晶板は、異なる波長の光を反射・散乱させることができます。研究により、トカゲの虹彩色素の結晶板のサイズ、間隔、角度を変えることで、皮膚で散乱・反射される光の波長を変化させることができることが示されています。この発見は、トカゲの皮膚の色の変化のメカニズムを理解する上で重要です。

粒子および細孔分析ソフトウェア(粒子) *オプション

SEM Particle & Pore Analysis Software (Particle)

CIQTEK SEM 顕微鏡ソフトウェアは、さまざまな種類の粒子および細孔サンプルに適したさまざまなターゲット検出およびセグメンテーション アルゴリズムを採用しています。粒子および細孔統計の定量分析を可能にし、材料科学、地質学、環境科学などの分野に適用できます。


画像後処理ソフトウェア *オプション

SEM Microscope Image Post-processing Software

電子顕微鏡で撮影した画像に対してオンラインまたはオフラインの画像後処理を実行し、一般的に使用される EM 画像処理機能、便利な測定ツール、注釈ツールを統合します。


自動測定 *オプション

SEM Microscope software Auto Measure

線幅エッジの自動認識により、より正確な測定と高い一貫性を実現します。ライン、スペース、ピッチなど、複数のエッジ検出モードに対応しています。複数の画像形式に対応し、一般的な画像後処理機能も豊富に搭載しています。使いやすく、効率的で、精度の高いソフトウェアです。


ソフトウェア開発キット(SDK) *オプション

SEM Microscope Software Development Kit (SDK)

画像取得、動作条件設定、電源オン/オフ、ステージ制御など、SEM顕微鏡を制御するための一連のインターフェースを提供します。簡潔なインターフェース定義により、特定の電子顕微鏡操作スクリプトとソフトウェアを迅速に開発でき、関心領域の自動追跡、産業オートメーションデータの取得、画像ドリフト補正などの機能を実現できます。珪藻類分析、鋼鉄不純物検査、清浄度分析、原材料管理などの専門分野のソフトウェア開発に使用できます。


オートマップ *オプション

FESEM Microscope software Auto Measure

CIQTEK FESEM顕微鏡SEM5000Proの仕様

電子光学 解決

0.8 nm @ 15 kV、SE

1.2 nm @ 1.0 kV、SE

加速電圧 0.02kV~30kV
拡大(ポラロイド) 1~2,500,000倍
電子銃型 ショットキー電界放出電子銃
標本室 カメラ デュアルカメラ(光学ナビゲーション+チャンバーモニター)
ステージ範囲

X: 110 mm、Y: 110 mm、Z: 65 mm

北緯: -10°~ +70°、南緯: 360°

SEM検出器と拡張機能 標準

インレンズ電子検出器

エバーハート・ソーンリー検出器(ETD)

オプション

格納式反射電子検出器(BSED)

伸縮式走査透過電子顕微鏡(STEM)

低真空検出器(LVD)

エネルギー分散型分光法(EDS / EDX)

電子後方散乱回折パターン(EBSD)

試料交換用ロードロック(4インチ/8インチ)

トラックボールとノブのコントロールパネル

ソフトウェア 言語 英語
オペレーティング·システム ウィンドウズ
ナビゲーション 光学ナビゲーション、ジェスチャークイックナビゲーション、トラックボール(オプション)
自動機能 自動明るさ・コントラスト、自動フォーカス、自動非点補正

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CIQTEKを読む SEM 顕微鏡 顧客の洞察とl SEM 業界のリーダーとしての CIQTEK の強みと実績について詳しくご覧ください。 メールアドレス: info@ciqtek.com

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