FESEM 電界放出走査電子顕微鏡 | SEM5000Pro

高真空モードと低真空モードの両方で優れた画像品質機能を備えた高性能タングステン フィラメント SEM 顕微鏡 CIQTEK SEM3200 SEM 顕微鏡 は、ユーザーフレンドリーなインターフェイスを備えた広い被写界深度を備えており、ユーザーは試料の特性を評価し、顕微鏡イメージングと分析の世界を探索できます。

集束イオンビーム (FIB) カラムを備えた電界放射型走査電子顕微鏡 (FE-SEM) CIQTEK DB500 集束イオンビーム走査型電子顕微鏡 (FIB-SEM)は、「SuperTunnel」電子光学技術、低収差、低電圧および高分解能機能を備えた非磁性対物レンズ設計を採用しており、ナノスケールの分析です。イオンカラムは、ナノ加工用の非常に安定した高品質のイオンビームを備えた Ga+ 液体金属イオン源を容易にします。[7]。 FIB-SEM DB500 は、統合されたナノマニピュレーター、ガス注入システム、対物レンズ用の電気的汚染防止機構、および 24 個の拡張ポートを備えており、包括的な構成と拡張性を備えた万能のナノ分析および製造プラットフォームとなります。 .

超高解像度電界放射型走査電子顕微鏡 (FESEM): 0.6 nm@15 kV および 1.0 nm@1 kV CIQTEK SEM5000X 超高解像度 FESEM は、アップグレードされたカラムエンジニアリングプロセス、「SuperTunnel」テクノロジー、および高解像度対物レンズ設計を利用して、低電圧イメージング解像度を向上させます。 FESEM SEM5000Xの試料室ポートは16ポートまで拡張され、試料交換ロードロックは最大8インチウェーハサイズ（最大直径208mm）まで対応し、用途が大幅に拡大しました。高度なスキャン モードと強化された自動機能により、より強力なパフォーマンスとさらに最適化されたエクスペリエンスがもたらされます。

高輝度・長寿命のショットキー電界放出型電子銃を搭載した分析用電界放出型走査電子顕微鏡（FESEM） SEM4000Pro は、最大 200 nA のビーム電流に対応する 3 段階のコンデンサー電子光学カラム設計により、EDS、EBSD、WDS、およびその他の分析アプリケーションで利点をもたらします。このシステムは、低真空モードに加え、高性能低真空二次電子検出器および格納式反射電子検出器をサポートしており、導電性の低いサンプルや非導電性サンプルの直接観察に役立ちます。 標準の光学式ナビゲーション モードと直感的なユーザー操作インターフェイスにより、分析作業が容易になります。

大容量試料のクロススケールイメージングのための高速走査型電子顕微鏡 CIQTEK HEM6000は、高輝度大ビーム電流電子銃、高速電子ビーム偏向システム、高電圧試料ステージ減速、ダイナミック光軸、浸漬電磁・静電コンボ対物レンズなどの技術を搭載し、高輝度を実現します。 - ナノスケールの解像度を確保しながら画像取得を高速化します。 自動化された操作プロセスは、より効率的かつスマートな大面積高解像度イメージング ワークフローなどのアプリケーション向けに設計されています。イメージング速度は、従来の電界放射型走査型電子顕微鏡 (fesem) に比べて 5 倍以上に達します