集束イオンビーム (FIB) カラムを備えた電界放射型走査電子顕微鏡 (FE-SEM)
CIQTEK DB500 集束イオンビーム走査型電子顕微鏡 (FIB-SEM)
は、「SuperTunnel」電子光学技術、低収差、低電圧および高分解能機能を備えた非磁性対物レンズ設計を採用しており、ナノスケールの分析です。イオンカラムは、ナノ加工用の非常に安定した高品質のイオンビームを備えた Ga+ 液体金属イオン源を容易にします。[7]。FIB-SEM DB500 は、統合されたナノマニピュレーター、ガス注入システム、対物レンズ用の電気的汚染防止機構、および 24 個の拡張ポートを備えており、包括的な構成と拡張性を備えた万能のナノ分析および製造プラットフォームとなります。 .
• 高解像度イメージングに適しており、磁気試料イメージングと互換性のある、磁気を含まない対物レンズを備えた「スーパートンネル」電子光学技術。
• 集束イオン ビーム (FIB) カラムは、高品質のナノ加工や TEM サンプルの前処理に適した、安定性の高い高品質のイオン ビームを出力します。
• 正確な操作を実現する統合制御システムを備えた、試料室内の圧電駆動マニピュレータ。
• 拡張性に優れた独自開発システム。統合されたイオン源アセンブリ設計により、イオン源を迅速に交換できます。ワールドワイド サービス、FIB-SEM DB500 の 3 年間保証。
分解能: 3 nm@30 kV
プローブ電流 (イオンビーム電流範囲): 1 pA ~ 50 nA
加速電圧範囲:0.5~30kV
イオン源交換間隔: ≥1000 時間
安定性: 72 時間の連続動作
チャンバーは内部に取り付けられています
3軸全圧電駆動
ステッピング モーターの精度 ≤10 nm
最大移動速度 2 mm/s
統合制御
単一の GIS デザイン
さまざまなガス前駆体ソースが利用可能
針挿入距離 ≥35 mm
動作再現性 ≤10 μm
加熱温度制御再現性 ≦0.1℃
加熱範囲:室温〜90℃(194°F)
統合制御
CIQTEK FIB-SEM DB500 仕様 | ||
電子線装置 | 電子銃タイプ | 高輝度ショットキー電界放出型電子銃 |
解決策 | 1.2 nm@15 kV | |
加速電圧 | 0.02~30kV | |
イオンビームシステム | イオン源の種類 | 液体ガリウムイオン源 |
解像度 | 3 nm@30 kV | |
加速電圧 | 0.5~30kV | |
標本室 | 真空システム | 全自動制御オイルフリー真空システム |
カメラ |
3 台のカメラ (光学ナビゲーション+チャンバーモニターx2) |
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ステージタイプ | 5 軸機械式ユーセントリック試料ステージ | |
ステージ範囲 |
X=110mm、Y=110mm、Z=65mm T:-10°~+70°、R:360° |
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SEM 検出器と拡張機能 | スタンダード |
レンズ内検出器 エバーハート・ソーンリー検出器 (ETD) |
オプション |
格納式後方散乱電子検出器 (BSED) 格納式走査型透過電子顕微鏡検出器 (STEM) エネルギー分散型分光計(EDS/EDX) 後方散乱電子回折パターン (EBSD) ナノマニピュレーター ガスインジェクションシステム プラズマクリーナー 標本交換ロードロック トラックボール & ノブ コントロール パネル |
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ソフトウェア | 言語 | 英語 |
オペレーティングシステム | ウィンドウ | |
ナビゲーション | ナビカメラ、ジェスチャークイックナビゲーション | |
自動機能 | 自動明るさとコントラスト、自動フォーカス、自動スティグマメーター |