fesem edx

超高解像度FESEM | SEM5000X

超高解像度電界放射型走査電子顕微鏡 (FESEM): 0.6 nm@15 kV および 1.0 nm@1 kV

CIQTEK SEM5000X 超高解像度 FESEM は、アップグレードされたカラムエンジニアリングプロセス、「SuperTunnel」テクノロジー、および高解像度対物レンズ設計を利用して、低電圧イメージング解像度を向上させます

FESEM SEM5000Xの試料室ポートは16ポートまで拡張され、試料交換ロードロックは最大8インチウェーハサイズ(最大直径208mm)まで対応し、用途が大幅に拡大しました。高度なスキャン モードと強化された自動機能により、より強力なパフォーマンスとさらに最適化されたエクスペリエンスがもたらされます。

CIQTEK FESEM SEM5000X 仕様

主要パラメータ 解決策

0.6 nm @ 15 kV、SE

1.0 nm @ 1 kV、SE

加速電圧 0.02~30kV
倍率 1~2,500,000×
電子銃型 ショットキー電界放出型電子銃
標本室
真空システム
完全自動制御
カメラ デュアルカメラ (光学ナビゲーション + チャンバーモニター)
ステージタイプ 5 軸機械式ユーセントリック試料ステージ
ステージ範囲

X=110mm、Y=110mm、Z=65mm

T:-10*~+70°、R:360°

SEM 検出器と拡張機能 スタンダード

レンズ内検出器

エバーハート・ソーンリー検出器 (ETD)

オプション

格納式後方散乱電子検出器 (BSED)

格納式走査型透過電子顕微鏡検出器 (STEM)

エネルギー分散型分光計(EDS/EDX)

後方散乱電子回折パターン (EBSD)

試料交換ロードロック (4 インチおよび 8 インチはオプション)

トラックボール & ノブ コントロール パネル

試料ステージタンデム減速

磁界および音響ノイズエンクロージャシステム (SEMI 認定)

ソフトウェア 言語

英語

オペレーティングシステム

ウィンドウ

ナビゲーション

ナビカメラ、ジェスチャークイックナビゲーション

自動機能

自動明るさとコントラスト、自動フォーカス、自動スティグマメーター

伝言を残す
詳細については、お気軽にお問い合わせください。見積もりを依頼したり、オンライン デモを予約したりしてください。できるだけ早くご返信させていただきます。
提出する
関連製品
fib sem microscopy

集束イオンビーム (FIB) カラムを備えた電界放射型走査電子顕微鏡 (FE-SEM) CIQTEK DB500 集束イオンビーム走査型電子顕微鏡 (FIB-SEM)は、「SuperTunnel」電子光学技術、低収差、低電圧および高分解能機能を備えた非磁性対物レンズ設計を採用しており、ナノスケールの分析です。イオンカラムは、ナノ加工用の非常に安定した高品質のイオンビームを備えた Ga+ 液体金属イオン源を容易にします。[7]。 FIB-SEM DB500 は、統合されたナノマニピュレーター、ガス注入システム、対物レンズ用の電気的汚染防止機構、および 24 個の拡張ポートを備えており、包括的な構成と拡張性を備えた万能のナノ分析および製造プラットフォームとなります。 .

もっと詳しく知る
field emission scanning electron microscope fe sem

高輝度・長寿命のショットキー電界放出型電子銃を搭載した分析用電界放出型走査電子顕微鏡(FESEM) SEM4000Pro は、最大 200 nA のビーム電流に対応する 3 段階のコンデンサー電子光学カラム設計により、EDS、EBSD、WDS、およびその他の分析アプリケーションで利点をもたらします。このシステムは、低真空モードに加え、高性能低真空二次電子検出器および格納式反射電子検出器をサポートしており、導電性の低いサンプルや非導電性サンプルの直接観察に役立ちます。 標準の光学式ナビゲーション モードと直感的なユーザー操作インターフェイスにより、分析作業が容易になります。

もっと詳しく知る
scanning electron microscope machine

高真空モードと低真空モードの両方で優れた画像品質機能を備えた高性能タングステン フィラメント SEM 顕微鏡 CIQTEK SEM3200 SEM 顕微鏡 は、ユーザーフレンドリーなインターフェイスを備えた広い被写界深度を備えており、ユーザーは試料の特性を評価し、顕微鏡イメージングと分析の世界を探索できます。

もっと詳しく知る
sem microscope price

CIQTEK SEM 顕微鏡 顧客の洞察を読んで、SEM 業界のリーダーとしての CIQTEK の強みと実績について詳しく学びましょう! 電子メール: info@ciqtek.com

もっと詳しく知る

伝言を残す

伝言を残す
詳細については、お気軽にお問い合わせください。見積もりを依頼したり、オンライン デモを予約したりしてください。できるだけ早くご返信させていただきます。
提出する

製品

チャット

接触