超高解像度電界放射型走査電子顕微鏡 (FESEM): 0.6 nm@15 kV および 1.0 nm@1 kV
CIQTEK SEM5000X 超高解像度 FESEM は、アップグレードされたカラムエンジニアリングプロセス、「SuperTunnel」テクノロジー、および高解像度対物レンズ設計を利用して、低電圧イメージング解像度を向上させます
。FESEM SEM5000Xの試料室ポートは16ポートまで拡張され、試料交換ロードロックは最大8インチウェーハサイズ(最大直径208mm)まで対応し、用途が大幅に拡大しました。高度なスキャン モードと強化された自動機能により、より強力なパフォーマンスとさらに最適化されたエクスペリエンスがもたらされます。
(*FESEM SEM5000X のオプションアクセサリ)
CIQTEK FESEM SEM5000X 仕様 |
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主要パラメータ | 解決策 |
0.6 nm @ 15 kV、SE 1.0 nm @ 1 kV、SE |
加速電圧 | 0.02~30kV | |
倍率 | 1~2,500,000× | |
電子銃型 | ショットキー電界放出型電子銃 | |
標本室 |
真空システム
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完全自動制御 |
カメラ | デュアルカメラ (光学ナビゲーション + チャンバーモニター) | |
ステージタイプ | 5 軸機械式ユーセントリック試料ステージ | |
ステージ範囲 |
X=110mm、Y=110mm、Z=65mm T:-10*~+70°、R:360° |
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SEM 検出器と拡張機能 | スタンダード |
レンズ内検出器 エバーハート・ソーンリー検出器 (ETD) |
オプション |
格納式後方散乱電子検出器 (BSED) 格納式走査型透過電子顕微鏡検出器 (STEM) エネルギー分散型分光計(EDS/EDX) 後方散乱電子回折パターン (EBSD) 試料交換ロードロック (4 インチおよび 8 インチはオプション) トラックボール & ノブ コントロール パネル 試料ステージタンデム減速 磁界および音響ノイズエンクロージャシステム (SEMI 認定) |
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ソフトウェア | 言語 |
英語 |
オペレーティングシステム |
ウィンドウ |
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ナビゲーション |
ナビカメラ、ジェスチャークイックナビゲーション |
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自動機能 |
自動明るさとコントラスト、自動フォーカス、自動スティグマメーター |