scanning electron microscope machine

タングステンフィラメントSEM | SEM3200

高性能・汎用タングステンフィラメントSEM顕微鏡

そのCIQTEK SEM3200 SEM顕微鏡SEM3200は、優れた総合性能を備えた汎用性の高いタングステンフィラメント走査型電子顕微鏡(SEM)です。独自のデュアルアノード電子銃構造により、低励起電圧でも高解像度を実現し、画像S/N比を向上させます。さらに、豊富なオプションアクセサリが用意されているため、SEM3200は優れた拡張性を備えた多用途の分析装置となっています。

電子銃のデュアルアノード構造*オプション

sem3200 Intermittent Anode

断続陽極

間欠陽極は、陰極アセンブリと陽極の間に設置されます。低励起電圧下では、電子ビームの抽出効率が向上し、分解能は10%、信号対雑音比は30%向上します。

  • carbon material samples under low excitation voltages
  • carbon material samples under low excitation voltages

炭素材料サンプルの場合、励起電圧が低いとビームの浸透深度が浅くなり、試料のより詳細な情報を含む真の表面形態情報を取得できます。

  • polymer fiber samples, high excitation voltages
  • polymer fiber samples, high excitation voltages

ポリマー繊維サンプルの場合、高い励起電圧はビームによる試料への損傷を引き起こしますが、低電圧ビームでは表面の詳細を損傷なく保存できます。


低真空SEMモード

CIQTEK SEM3200 SEM顕微鏡は、2段階の低真空モードをサポートしています。圧力制限絞りなしで5~180Paのチャンバー圧力に到達でき、PLAを使用することで180~1000Paを実現できます。特別に設計された対物レンズ真空チャンバーは、低真空における電子の平均自由行程を最小限に抑え、30kVで3nmの分解能を維持します。

入射電子ビームは表面上の空気分子をイオン化して電子とイオンを生成し、イオンがサンプル表面で生成された荷電粒子を中和して電荷緩和効果を実現します。

  • SEM3200 Analysis Image
  • SEM3200 Analysis Image

試料表面から放出される二次電子は空気分子をイオン化し、電子、イオン、そして光信号を同時に生成します。生成された電子は他の空気分子をイオン化し、多数の光信号が生成され、低真空検出器(LVD)によって捕捉されます。

  • SEM Microscope sem3200
  • SEM Microscope sem3200 Analysis image

高真空モードでは、LVD は試料から放出されるカソードルミネッセンス信号を直接検出し、これをキャプチャしてカソードルミネッセンス画像化を行うとともに、BSED チャネルからの画像化を同時に行うことができます。


光学航法

垂直に取り付けられたチャンバーカメラを使用して、標本ステージナビゲーション用の光学画像をキャプチャすると、より直感的で正確な標本位置決めが可能になります。

  • SEM Optical Navigation

▶インテリジェントな画像補正による乱視補正

このモードでは、X軸とY軸の非点収差値がピクセルごとに変化します。最適な非点収差値で画像の鮮明度が最大化されるため、迅速な非点収差補正が可能になります。

  • sem Intelligent Assisted Image Astigmatism Correction
  • sem Intelligent Assisted Image Astigmatism Correction


自動機能

自動明るさ・コントラスト、自動フォーカス、自動非点補正機能が向上しました。ワンクリックで撮影できます。

>> 自動フォーカス

  • during autofocus
  • after autofocus

>>自動乱視補正

  • during autofocus
  • after autofocus

>>自動明るさとコントラスト

  • during autofocus
  • after autofocus

より安全に使用可能


簡単なフィラメント交換

すぐに使用できる、調整済みの交換用フィラメント モジュール。

粒子および細孔分析ソフトウェア(粒子)*オプション
SEM Particle & Pore Analysis Software (Particle)

CIQTEK SEM 顕微鏡ソフトウェアは、さまざまな種類の粒子および細孔サンプルに適したさまざまなターゲット検出およびセグメンテーション アルゴリズムを採用しています。粒子および細孔統計の定量分析を可能にし、材料科学、地質学、環境科学などの分野に適用できます。


画像後処理ソフトウェア

SEM Microscope Image Post-processing Software

電子顕微鏡で撮影した画像に対してオンラインまたはオフラインの画像後処理を実行し、一般的に使用される EM 画像処理機能、便利な測定ツール、注釈ツールを統合します。


自動測定*オプション

SEM Microscope software Auto Measure

線幅エッジの自動認識により、より正確な測定と高い一貫性を実現します。ライン、スペース、ピッチなど、複数のエッジ検出モードに対応しています。複数の画像形式に対応し、一般的な画像後処理機能も豊富に搭載しています。使いやすく、効率的で、精度の高いソフトウェアです。


ソフトウェア開発キット(SDK)*オプション

SEM Microscope Software Development Kit (SDK)

画像取得、動作条件設定、電源オン/オフ、ステージ制御など、SEM顕微鏡を制御するための一連のインターフェースを提供します。簡潔なインターフェース定義により、特定の電子顕微鏡操作スクリプトとソフトウェアを迅速に開発でき、関心領域の自動追跡、産業オートメーションデータの取得、画像ドリフト補正などの機能を実現できます。珪藻類分析、鋼鉄不純物検査、清浄度分析、原材料管理などの専門分野のソフトウェア開発に使用できます。


オートマップ*オプション

  • during autofocus

CIQTEK SEM3200 SEM顕微鏡
電子光学 解決 3 nm @ 30 kV、南東
7 nm @ 3 kV、SE
4 nm @ 30 kV、BSE
3 nm @ 30 kV、SE、30 Pa
加速電圧 0.2 kV~30 kV
拡大(ポラロイド) 1倍~30万倍
標本室 低真空 5~1000Pa(オプション)
カメラ 光学航法
チャンバーモニタリング
ステージタイプ 5軸真空対応電動
XY範囲 125ミリメートル
Z範囲 50ミリメートル
Tレンジ - 10°~90°
Rレンジ 360°
SEM検出器 標準 エバーハート・ソーンリー検出器(ETD)
オプション 格納式後方散乱電子検出器(BSED)
エネルギー分散型分光計(EDS / EDX)
電子後方散乱回折パターン(EBSD)
オプション 試料交換ロードロック
トラックボールとノブのコントロールパネル
ユーザーインターフェース オペレーティング·システム ウィンドウズ
ナビゲーション 光学ナビゲーション、ジェスチャークイックナビゲーション、トラックボール(オプション)
自動機能 自動明るさ・コントラスト、自動フォーカス、自動非点補正
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