分析的 ショットキー 電界放出走査電子顕微鏡（FESEM）
CIQTEK SEM4000Pro 高輝度・長寿命のショットキー電界放出電子銃を搭載した分析用FE-SEMモデルです。3段電磁レンズ設計により、EDS/EDX、EBSD、WDSなどの分析アプリケーションにおいて大きなメリットを提供します。低真空モードと高性能低真空二次電子検出器に加え、格納式反射電子検出器を標準装備しており、導電性の低い試料や非導電性試料の観察に便利です。
低真空モードでは、圧力制限絞りなしで10～180Paの範囲に到達できます。特別に設計された対物レンズ真空チャンバーは、低真空条件における電子の平均自由行程を最小限に抑え、低真空モードにおいて30kVで1.5nmの分解能を実現します。
試料表面から放出される二次電子は空気分子を電離させ、同時に電子、イオン、光子を生成します。生成された電子は他の空気分子をさらに電離させ、低真空二次電子検出器（LVD）は、このような過程で生成される大量の光子信号を捕捉します。
入射電子ビームは試料表面の空気分子を電離させ、電子とイオンを生成します。これらのイオンは表面の帯電を中和し、帯電効果を低減します。
CIQTEK SEM 顕微鏡ソフトウェアは、さまざまな種類の粒子および細孔サンプルに適したさまざまなターゲット検出およびセグメンテーション アルゴリズムを採用しています。粒子および細孔統計の定量分析を可能にし、材料科学、地質学、環境科学などの分野に適用できます。
電子顕微鏡で撮影した画像に対してオンラインまたはオフラインの画像後処理を実行し、一般的に使用される EM 画像処理機能、便利な測定ツール、注釈ツールを統合します。
線幅エッジの自動認識により、より正確な測定と高い一貫性を実現します。ライン、スペース、ピッチなど、複数のエッジ検出モードに対応しています。複数の画像形式に対応し、一般的な画像後処理機能も豊富に搭載しています。使いやすく、効率的で、精度の高いソフトウェアです。
画像取得、動作条件設定、電源オン/オフ、ステージ制御など、SEM顕微鏡を制御するための一連のインターフェースを提供します。簡潔なインターフェース定義により、特定の電子顕微鏡操作スクリプトとソフトウェアを迅速に開発でき、関心領域の自動追跡、産業オートメーションデータの取得、画像ドリフト補正などの機能を実現できます。珪藻類分析、鋼鉄不純物検査、清浄度分析、原材料管理などの専門分野のソフトウェア開発に使用できます。
| CIQTEK SEM4000Pro FESEM顕微鏡の仕様 | |||
| 電子光学 | 解決 | 高真空 |
0.9 nm @ 30 kV、SE |
| 低真空 |
2.5 nm @ 30 kV、BSE、30 Pa 1.5 nm @ 30 kV、SE、30 Pa |
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| 加速電圧 | 0.2 kV～30 kV | ||
| 拡大（ポラロイド） | 1 ~ 1,000,000 x | ||
| 電子銃型 | ショットキー電界放出電子銃 | ||
| 標本室 | 低真空 | 最大180Pa | |
| カメラ | デュアルカメラ（光学ナビゲーション + チャンバーモニタリング） | ||
| XY範囲 | 110ミリメートル | ||
| Z範囲 | 65ミリメートル | ||
| Tレンジ | -10°～+70° | ||
| Rレンジ | 360° | ||
| SEM検出器と拡張機能 | 標準 |
エバーハート・ソーンリー検出器（ETD） 低真空検出器（LVD） 後方散乱電子検出器（BSED） |
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| オプション |
格納式走査透過電子顕微鏡検出器（STEM） エネルギー分散型分光計（EDS / EDX） 電子後方散乱回折パターン（EBSD） 試料交換用ロードロック（4インチ/8インチ） トラックボールとノブのコントロールパネル |
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| ユーザーインターフェース | 言語 | 英語 | |
| OS | ウィンドウズ | ||
| ナビゲーション | 光学ナビゲーション、ジェスチャークイックナビゲーション、トラックボール（オプション） | ||
| 自動機能 | 自動明るさ・コントラスト、自動フォーカス、自動非点補正 | ||
Ga+集束イオンビーム電界放出走査電子顕微鏡 その CIQTEK DB550 集束イオンビーム走査電子顕微鏡（FIB-SEM） ナノ分析および試料作製用の集束イオンビームカラムを備えています。「スーパートンネル」電子光学技術、低収差、非磁性対物レンズ設計を採用し、「低電圧・高分解能」という特長により、ナノスケールの分析能力を確保しています。 イオンカラムは、Ga+液体金属イオン源から高安定性・高品質イオンビームを供給し、ナノファブリケーション能力を実現します。DB550は、ナノマニピュレーター、ガスインジェクションシステム、そしてユーザーフレンドリーなGUIソフトウェアを統合したオールインワンのナノ分析・ファブリケーションワークステーションです。
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超高解像度電界放出走査電子顕微鏡（FESEM） その CIQTEK SEM5000X は、最適化された電子光学カラム設計を採用した超高分解能FESEMです。全体的な収差を30%低減し、0.6nm@15kVおよび1.0nm@1kVという超高分解能を実現しています。高い分解能と安定性により、先端ナノ構造材料研究やハイテクノードの半導体ICチップの開発・製造において優位性を発揮します。
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高性能・汎用タングステンフィラメントSEM 顕微鏡 その CIQTEK SEM3200 SEM顕微鏡 SEM3200は、優れた総合性能を備えた汎用性の高いタングステンフィラメント走査型電子顕微鏡（SEM）です。独自のデュアルアノード電子銃構造により、低励起電圧でも高解像度を実現し、画像S/N比を向上させます。さらに、豊富なオプションアクセサリが用意されているため、SEM3200は優れた拡張性を備えた多用途の分析装置となっています。
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