field emission scanning electron microscope fe sem

フェセム | SEM4000プロ

高輝度・長寿命のショットキー電界放出型電子銃を搭載した分析用電界放出型走査電子顕微鏡(FESEM)

SEM4000Pro は、最大 200 nA のビーム電流に対応する 3 段階のコンデンサー電子光学カラム設計により、EDS、EBSD、WDS、およびその他の分析アプリケーションで利点をもたらします。このシステムは、低真空モードに加え、高性能低真空二次電子検出器および格納式反射電子検出器をサポートしており、導電性の低いサンプルや非導電性サンプルの直接観察に役立ちます。

標準の光学式ナビゲーション モードと直感的なユーザー操作インターフェイスにより、分析作業が容易になります。

・高輝度、長寿命のショットキー電界放出型電子銃を搭載

30 kV で 0.9nm の高分解能

3 段集光レンズ設計、最大ビーム電流 200 nA までの広いビーム電流調整範囲

標準低真空モード、高性能低真空二次電子検出器、格納式反射電子検出器

非浸漬磁場フリー対物レンズ設計により、磁性試料を直接観察可能

標準光学ナビゲーションモード

主要パラメータ 解決策 高真空

0.9 nm @ 30 kV、SE

低真空

2.5 nm @ 30 kV、BSE、30 Pa

1.5 nm @ 30 kV、SE、30 Pa

加速電圧 0.2~30kV
倍率 1~1,000,000×
電子銃型 高輝度ショットキー電界放出型電子銃
標本室 真空システム 完全自動制御
低真空 (オプション) 最大180Pa
カメラ デュアルカメラ (光学ナビゲーション + チャンバーモニタリング)
距離

X:110mm

Y:110mm

Z:65mm

T: -10°~ +70°

R:360°

検出器と拡張機能 スタンダード

エバーハート・ソーンリー検出器 (ETD)

低真空検出器 (LVD)

反射電子検出器 (BSED)

オプション

STEM検出器

エネルギー分散型分光計 (EDS)

後方散乱電子回折パターン (EBSD)

試料交換ロードロック

トラックボール&ノブコントロールパネル

ソフトウェア 言語 英語
OS ウィンドウ
ナビゲーション ナビカメラ、ジェスチャークイックナビゲーション
自動機能 自動明るさとコントラスト、自動フォーカス、自動スティグマメーター

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