滞留時間10 ns/ピクセル、最大画像取得速度2*100Mピクセル/秒
高速 完全自動化フィールドエミッション 走査型電子顕微鏡 ワークステーション
CIQTEK HEM6000 高輝度大ビーム電流電子銃、高速電子ビーム偏向システム、高電圧サンプルステージ減速、ダイナミック光軸、液浸電磁静電コンボ対物レンズなどの設備技術を採用し、ナノスケールの解像度を確保しながら高速画像取得を実現します。
自動化された操作プロセスは、より効率的でスマートな大面積高解像度イメージングワークフローなどの用途向けに設計されています。そのイメージング速度は、従来の電界放出走査電子顕微鏡(FESEM)の5倍以上です。
HEM6000-セミ | HEM6000-バイオ | HEM6000-Lit |
低電圧・高解像度 | 低電圧・高解像度 | 簡素化された操作 |
広い視野 | 生物学分野における様々な自動化アルゴリズム | 豊富な選択肢 |
非常に反復的な標本を簡単に位置合わせするための特別に最適化されたアルゴリズム | 生物学的用途向けに最適化されたBSE検出器 | 高速自動ワークフロー |
5段階静電偏向 | 生物3D再構築システム |
CIQTEK 高速SEM顕微鏡 HEM6000 仕様 | HEM6000-セミ | HEM6000-バイオ | HEM6000-Lite | |
電子光学 | 解決 | 1.5 nm@1 kV SE | 1.8 nm@1 kV BSE | 1.5 nm@15 kV BSE |
加速電圧 | 0.1 kV~6 kV(減速モード) | 6 kV~30 kV(非減速モード) | 6kV~30kV | |
倍率 | 66~1,000,000倍 | |||
電子銃 | 高輝度ショットキー電界放出電子銃 | |||
対物レンズの種類 | 浸漬型電磁・静電コンボ対物レンズ | |||
静電偏向器 | 5段階 | 4段階 | 4段階 | |
サンプルローディングシステム | 真空システム | 全自動オイルフリー真空システム | ||
標本モニタリング | 水平メインチャンバー監視カメラ;垂直サンプル交換ロードロックチャンバー監視カメラ | |||
最大サンプルサイズ | 直径4インチ | |||
標本ステージタイプ | 電動3軸試料ステージ(*オプションの圧電駆動試料ステージ) | |||
試料ステージ移動範囲 | X、Y: 110 mm; Z: 16 mm | |||
試料ステージの再現性 | X:±0.6 μm;Y:±0.3 μm | |||
標本交換 | フルオートマチック | |||
サンプル交換期間 | 15分未満 | |||
ロードロックチャンバー洗浄 | 全自動プラズマ洗浄システム | |||
画像の取得と処理 | 滞留時間 | 10 ns/ピクセル | ||
取得速度 | 2*100 Mピクセル/秒 | |||
画像サイズ | 16K×16K | |||
検出器とアクセサリ | 低角度格納式反射電子検出器 | オプション | なし | 標準 |
低角度反射電子検出器(下部設置) | オプション | 標準 | なし | |
インカラムオーバーオール電子検出器 | 標準 | オプション | オプション | |
インカラム高角度反射電子検出器 | オプション | オプション | オプション | |
圧電駆動試料ステージ | オプション | オプション | オプション | |
高解像度広視野角モード(SW) | オプション | なし | なし | |
ロードロックチャンバープラズマ洗浄システム | オプション | オプション | オプション | |
6インチ試験片ローディングシステム | オプション | オプション | オプション | |
アクティブ防振プラットフォーム | オプション | オプション | オプション | |
Alノイズ低減、大面積フィールドスティッチング、3D再構成 | オプション | オプション | オプション | |
ユーザーインターフェース | 言語 | 英語 | ||
OS | ウィンドウズ | |||
ナビゲーション | 光学ナビゲーション、ジェスチャーナビゲーション | |||
自動機能 | 自動サンプル認識、自動撮影領域選択、自動明るさ・コントラスト、自動フォーカス、自動非点補正 |