sem electron microscope

高速SEM | HEM6000

高速 完全自動化フィールドエミッション 走査型電子顕微鏡 ワークステーション

CIQTEK HEM6000 高輝度大ビーム電流電子銃、高速電子ビーム偏向システム、高電圧サンプルステージ減速、ダイナミック光軸、液浸電磁静電コンボ対物レンズなどの設備技術を採用し、ナノスケールの解像度を確保しながら高速画像取得を実現します。

自動化された操作プロセスは、より効率的でスマートな大面積高解像度イメージングワークフローなどの用途向けに設計されています。そのイメージング速度は、従来の電界放出走査電子顕微鏡(FESEM)の5倍以上です。


HEM6000-セミ HEM6000-バイオ HEM6000-Lit
低電圧・高解像度 低電圧・高解像度 簡素化された操作
広い視野 生物学分野における様々な自動化アルゴリズム 豊富な選択肢
非常に反復的な標本を簡単に位置合わせするための特別に最適化されたアルゴリズム 生物学的用途向けに最適化されたBSE検出器 高速自動ワークフロー
5段階静電偏向 生物3D再構築システム
  • 高速自動化
    サンプルのロードとオフロードのプロセスと画像取得操作が完全に自動化されているため、全体的な画像化速度は従来のFESEMの5倍高速になります。
  • 広い視野
    走査偏向範囲に応じて光軸を動的にシフトする技術により、エッジ歪みを最小限に抑えます。
  • 低画像歪み
    試料ステージタンデム減速技術により、低い着陸エネルギーで高解像度の画像を取得できます。

High Speed SEM HEM6000

CIQTEK 高速SEM顕微鏡 HEM6000 仕様 HEM6000-セミ HEM6000-バイオ HEM6000-Lite
電子光学 解決 1.5 nm@1 kV SE 1.8 nm@1 kV BSE 1.5 nm@15 kV BSE
加速電圧 0.1 kV~6 kV(減速モード) 6 kV~30 kV(非減速モード) 6kV~30kV
倍率 66~1,000,000倍
電子銃 高輝度ショットキー電界放出電子銃
対物レンズの種類 浸漬型電磁・静電コンボ対物レンズ
静電偏向器 5段階 4段階 4段階
サンプルローディングシステム 真空システム 全自動オイルフリー真空システム
標本モニタリング 水平メインチャンバー監視カメラ;垂直サンプル交換ロードロックチャンバー監視カメラ
最大サンプルサイズ 直径4インチ
標本ステージタイプ 電動3軸試料ステージ(*オプションの圧電駆動試料ステージ)
試料ステージ移動範囲 X、Y: 110 mm; Z: 16 mm
試料ステージの再現性 X:±0.6 μm;Y:±0.3 μm
標本交換 フルオートマチック
サンプル交換期間 15分未満
ロードロックチャンバー洗浄 全自動プラズマ洗浄システム
画像の取得と処理 滞留時間 10 ns/ピクセル
取得速度 2*100 Mピクセル/秒
画像サイズ 16K×16K
検出器とアクセサリ 低角度格納式反射電子検出器 オプション なし 標準
低角度反射電子検出器(下部設置) オプション 標準 なし
インカラムオーバーオール電子検出器 標準 オプション オプション
インカラム高角度反射電子検出器 オプション オプション オプション
圧電駆動試料ステージ オプション オプション オプション
高解像度広視野角モード(SW) オプション なし なし
ロードロックチャンバープラズマ洗浄システム オプション オプション オプション
6インチ試験片ローディングシステム オプション オプション オプション
アクティブ防振プラットフォーム オプション オプション オプション
Alノイズ低減、大面積フィールドスティッチング、3D再構成 オプション オプション オプション
ユーザーインターフェース 言語 英語
OS ウィンドウズ
ナビゲーション 光学ナビゲーション、ジェスチャーナビゲーション
自動機能 自動サンプル認識、自動撮影領域選択、自動明るさ・コントラスト、自動フォーカス、自動非点補正
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