sem electron microscope

高速SEM | HEM6000

大容量試料

のクロススケールイメージングのための高速走査型電子顕微鏡

CIQTEK HEM6000は、高輝度大ビーム電流電子銃、高速電子ビーム偏向システム、高電圧試料ステージ減速、ダイナミック光軸、浸漬電磁・静電コンボ対物レンズなどの技術を搭載し、高輝度を実現します。 - ナノスケールの解像度を確保しながら画像取得を高速化します。

自動化された操作プロセスは、より効率的かつスマートな大面積高解像度イメージング ワークフローなどのアプリケーション向けに設計されています。イメージング速度は、従来の電界放射型走査型電子顕微鏡 (fesem) に比べて 5 倍以上に達します

  • 画像取得速度
    10 ns/ピクセル
    2*100 M ピクセル/秒
  • 解決策
    1.3nm@3kV、SE; 1.5 nm@1 kV、SE
    0.9 nm@ 30 kV、STEM
  • 加速電圧
    0.1kV~6kV(減速モード)
    6kV~30kV(非減速モード)

電気光学システム 解決策 1.3nm@3kV、SE; 2.2 nm@1 kV、SE
1.9 nm @ 3 kV、BSE; 3.3 nm@1 kV、BSE
倍率 66 - 1,000,000x
加速電圧 0.1 kV ~ 6 kV (減速モード)
6 kV ~ 30 kV (減速なしモード)
電子銃 高輝度ショットキー電界放出型電子銃
対物レンズの種類 液浸電磁・静電複合対物レンズ
サンプルローディングシステム 真空システム 全自動オイルフリー真空システム
検体モニタリング 水平メインチャンバー監視カメラ;垂直サンプル交換ロードロックチャンバー監視カメラ
最大サンプルサイズ 直径4インチ
試料ステージ
タイプ 電動3軸試料ステージ(※オプションの圧電駆動試料ステージ)
移動範囲 X、Y: 110 mm; Z:28mm
再現性 X: ±0.6μm; Y:±0.3μm
標本交換
フルオート
サンプル交換時間 -15 分
ロードロックチャンバーのクリーニング 全自動プラズマ洗浄システム
画像の取得と処理 滞留時間 10 ns/ピクセル
取得速度 2*100M ピクセル/秒
画像サイズ 8K*8K
検出器とアクセサリ
標準構成 レンズ内電子検出器
オプションの構成
低角度反射電子検出器
インカラム高角反射電子検出器
圧電駆動試料ステージ
高解像度大FOVモード(SW)
ロードロックチャンバープラズマクリーニングシステム
6インチ試料ローディングシステム
アクティブ防振プラットフォーム
AI ノイズリダクション。広い面積のフィールドステッチ。 3D再構築
ユーザーインターフェース
言語 英語
OS ウィンドウ
ナビゲーション 光学式ナビゲーション、ジェスチャークイックナビゲーション
自動機能 自動サンプル認識、自動撮像領域選択、自動明るさとコントラスト、自動フォーカス、自動スティグマメーター
  • 高速自動化
    サンプルのロード&オフロードプロセスと画像取得動作を完全に自動化することで、全体のイメージング速度が従来のFESEMよりも5倍高速になります
  • 広い視野
    走査偏向範囲に応じて光軸を動的にシフトする技術により、エッジ歪みの最小化を実現
  • 低結像歪み
    試料ステージタンデム減速技術により、高解像度画像を取得しながら低着陸エネルギーを実現

High Speed SEM HEM6000

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