CIQTEKとBeyond Nanoがメキシコで開催されるIMRC 2025に共同出展

超高解像度 タングステンフィラメント走査型電子顕微鏡 その CIQTEK SEM3300 走査型電子顕微鏡（SEM） 「スーパートンネル」電子光学系、インレンズ電子検出器、静電・電磁複合対物レンズなどの技術を採用しています。これらの技術をタングステンフィラメント顕微鏡に適用することで、長年のSEMの分解能限界を突破し、これまで電界放出型SEMでしか実現できなかった低電圧分析をタングステンフィラメントSEMで実行できるようになります。

Ga+集束イオンビーム電界放出走査電子顕微鏡 その CIQTEK DB550 集束イオンビーム走査電子顕微鏡（FIB-SEM） ナノ分析および試料作製用の集束イオンビームカラムを備えています。「スーパートンネル」電子光学技術、低収差、非磁性対物レンズ設計を採用し、「低電圧・高分解能」という特長により、ナノスケールの分析能力を確保しています。 イオンカラムは、Ga+液体金属イオン源から高安定性・高品質イオンビームを供給し、ナノファブリケーション能力を実現します。DB550は、ナノマニピュレーター、ガスインジェクションシステム、そしてユーザーフレンドリーなGUIソフトウェアを統合したオールインワンのナノ分析・ファブリケーションワークステーションです。

高速 完全自動化フィールドエミッション 走査型電子顕微鏡 ワークステーション CIQTEK HEM6000 高輝度大ビーム電流電子銃、高速電子ビーム偏向システム、高電圧サンプルステージ減速、ダイナミック光軸、液浸電磁静電コンボ対物レンズなどの設備技術を採用し、ナノスケールの解像度を確保しながら高速画像取得を実現します。 自動化された操作プロセスは、より効率的でスマートな大面積高解像度イメージングワークフローなどの用途向けに設計されています。そのイメージング速度は、従来の電界放出走査電子顕微鏡（FESEM）の5倍以上です。

超高解像度電界放出走査電子顕微鏡（FESEM） その CIQTEK SEM5000X は、最適化された電子光学カラム設計を採用した超高分解能FESEMです。全体的な収差を30%低減し、0.6nm@15kVおよび1.0nm@1kVという超高分解能を実現しています。高い分解能と安定性により、先端ナノ構造材料研究やハイテクノードの半導体ICチップの開発・製造において優位性を発揮します。