西安交通大学、CIQTEK電界放出SEMを用いた先進的な原位置材料研究プラットフォームを構築

マイクロ/ナノスケール材料挙動研究のための最先端研究プラットフォーム

西安交通大学（XJTU）マイクロ/ナノスケール材料挙動研究センターは、包括的な その場 材料性能研究プラットフォームを構築しました。このプラットフォームは、 CIQTEK SEM4000電界放出走査電子顕微鏡（FE-SEM） に基づいています。複数の その場 試験システムを統合することで、センターはSEM技術と高度な材料科学研究の応用において顕著な進歩を遂げました。 その場 SEM技術と高度な材料科学研究。

国家をリードする研究インフラ

XJTUマイクロ/ナノスケール材料挙動研究センターは、マイクロ/ナノスケールにおける材料の構造と特性の関係に焦点を当てています。設立以来、センターは 410本以上の高影響力論文を 発表しており、その中には Nature や Science などが含まれており、卓越した科学的成果を示しています。

このセンターは、最も先進的な その場 中国における材料性能研究プラットフォームは、定量的なナノメカニクス-熱結合機能を備えた日立300kV環境透過型電子顕微鏡（TEM）や、原子スケールの熱-機械-ガス相互作用の研究のための環境収差補正TEMなどの大規模システムを備えています。 その場 これらの装置は、最先端の材料研究に強力な技術サポートを提供します。

CIQTEK SEMによる効率的でシームレスな体験 CIQTEK SEM

2024年、センターは CIQTEK SEM4000電界放出走査電子顕微鏡 を導入しました。
センターの機器マネージャーであるファン・チュアンウェイ博士は、次のように述べています。

「CIQTEK SEM4000の解像度と安定性は、 CIQTEK SEM4000 私たちの研究ニーズに完全に合致しています。最も感銘を受けたのは、その効率性です。機器の設置からシステムを使用して最初の論文を発表するまでに4か月もかからず、調達から運用、アフターサービスまでの全プロセスが非常に効率的でした。」

カスタマイズされたサービスに関して、ファン博士は次のように付け加えました。

「私たちの その場 SEM実験において、CIQTEKはリアルタイムビデオ録画モジュールをカスタマイズし、様々な その場 セットアップ用にカスタマイズされたアダプターステージを設計しました。CIQTEKチームの迅速な対応と柔軟性は、彼らの専門知識を十分に証明しています。

統合された その場 試験機能

XJTUのSEM4000プラットフォームは、 3つのコア その場 試験システムを 統合することに成功し、完全な その場 機械性能研究機能を形成しています

• Bruker Hysitron PI 89ナノメカニカル試験システム – ナノインデンテーション、引張、破壊、疲労、および機械特性のマッピングを可能にします。半導体デバイスのマイクロ/ナノスケールの機械試験に広く使用されており、半導体材料研究において重要な成果をもたらしています。

• KW インサイチュー 引張ステージ – 1 Nから5 kNまでの荷重範囲を提供し、標準圧縮/引張、コンパクト引張、3点曲げ、繊維引張試験など、さまざまなグリップをサポートします。SEMイメージングと組み合わせることで、機械データと微細構造の変化をリアルタイムで相関させ、変形メカニズムに関する重要な知見を提供します。

• カスタム インサイチュー ねじりステージ - 西安交通大学計測科学工学部のWei Xueyong教授のチームによって開発されたこのシステムは、SEM観察下でのねじり変形研究を可能にし、研究プラットフォームに独自の機能を追加します。

CIQTEK電界放出形SEM4000 西安交通大学

ファン博士のコメント：

「このシステムはSEMと適切に統合されており、操作も簡単です。研究者はすぐに使いこなせるようになり、これらの技術を組み合わせることで、貴重な実験データと科学的発見が豊富に得られました。」

SEM4000：設計 その場 卓越性

SEM4000の卓越した性能は、 その場 研究におけるその専用エンジニアリング設計の恩恵を受けています。CIQTEKのエンジニアによると、 大型チャンバーと長距離移動ステージ は、複雑なその場観察セットアップに十分なスペースと安定性を提供し、これは従来のSEMに対する重要な利点です。

その モジュラーアーキテクチャ 、特徴 16個のフランジインターフェース は、さまざまなデバイス向けに真空ポートと電気フィードスルーを柔軟にカスタマイズできます。 その場 この設計により、統合とシステム拡張が非常に簡単になります。

さらに、 統合された その場 ビデオ録画機能 により、実験中の微細構造の進化を継続的に観察・記録することができ、動的プロセス分析とメカニズム探索に重要なデータを提供します。

将来の研究のための継続的なイノベーション

今後、XJTUセンターは、CIQTEK科学機器の長期的な進歩に対する強い自信を反映し、SEM4000プラットフォームに基づくいくつかの技術開発イニシアチブを計画しています。

「高温およびEBSD観察用のin-situ加熱モジュールとEBSDモジュールを追加する予定です。また、もともとTEM用に開発された自社開発の定量in-situ機械分析ソフトウェアをSEMアプリケーションに拡張することを目指しています。さらに、AI支援による自動操作、画像取得、データ処理を可能にする「SEM AIエージェント」システムを開発しています」とファン博士は述べています

「これらの継続的な改善により、マイクロ/ナノスケールの材料挙動の理解においてさらなるブレークスルーを達成するとともに、先進的な国内科学機器の進歩と普及拡大に貢献したいと考えています。CIQTEKの支援により、これらの目標を実現できると確信しています。」

とのコラボレーション 西安交通大学 や CIQTEK CIQTEKの高性能科学機器が最先端研究において持つ高い可能性と技術的深みを実証しています。4ヶ月以内に発表された最初の論文から、複数の その場 試験システムの統合成功まで、 CIQTEK SEM4000 は、XJTUの先端材料研究プラットフォームの礎であることが証明され、国内有数の研究機関の一つから高い評価を得ています。