超高解像度電界放出走査電子顕微鏡（FESEM）
その CIQTEK SEM5000X は、最適化された電子光学カラム設計を採用した超高分解能FESEMです。全体的な収差を30%低減し、0.6nm@15kVおよび1.0nm@1kVという超高分解能を実現しています。高い分解能と安定性により、先端ナノ構造材料研究やハイテクノードの半導体ICチップの開発・製造において優位性を発揮します。
対物レンズのアップグレード
レンズの色収差は12%減少し、レンズの球面収差は20%減少し、全体の収差は30%減少しました。
デュアルビーム減速技術
レンズ内ビーム減速は、大きな体積、断面、不規則な表面を持つ試料に適用できます。デュアル減速技術（レンズ内ビーム減速＋試料ステージタンデムビーム減速）は、試料表面の信号捕捉シナリオの限界に挑戦します。
「電子チャネリング効果」とは、入射電子ビームがブラッグ回折条件を満たし、多数の電子が格子を通過することで「チャネリング」効果を示し、結晶格子による電子散乱が大幅に減少することを指します。
均一な組成と研磨された平坦な表面を持つ多結晶材料の場合、反射電子の強度は入射電子線と結晶面の相対的な配向に依存します。配向のばらつきが大きい粒子は強い信号を示すため、より明るい画像が得られ、このような粒子配向マップによって定性的な特性評価が可能になります。
>> 複数の動作モード: 明視野（BF）イメージング、暗視野（DF）イメージング、高角環状暗視野（HAADF）イメージング
>> エネルギー分散分光法
>> カソードルミネッセンス
>> EBSD
CIQTEK SEM 顕微鏡ソフトウェアは、さまざまな種類の粒子および細孔サンプルに適したさまざまなターゲット検出およびセグメンテーション アルゴリズムを採用しています。粒子および細孔統計の定量分析を可能にし、材料科学、地質学、環境科学などの分野に適用できます。
電子顕微鏡で撮影した画像に対してオンラインまたはオフラインの画像後処理を実行し、一般的に使用される EM 画像処理機能、便利な測定ツール、注釈ツールを統合します。
線幅エッジの自動認識により、より正確な測定と高い一貫性を実現します。ライン、スペース、ピッチなど、複数のエッジ検出モードに対応しています。複数の画像形式に対応し、一般的な画像後処理機能も豊富に搭載しています。使いやすく、効率的で、精度の高いソフトウェアです。
画像取得、動作条件設定、電源オン/オフ、ステージ制御など、SEM顕微鏡を制御するための一連のインターフェースを提供します。簡潔なインターフェース定義により、特定の電子顕微鏡操作スクリプトとソフトウェアを迅速に開発でき、関心領域の自動追跡、産業オートメーションデータの取得、画像ドリフト補正などの機能を実現できます。珪藻類分析、鋼鉄不純物検査、清浄度分析、原材料管理などの専門分野のソフトウェア開発に使用できます。
| CIQTEK SEM5000X FESEM顕微鏡の仕様 | ||
| 電子光学 | 解決 |
0.6 nm @ 15 kV、SE
1.0 nm @ 1 kV、SE |
| 加速電圧 | 0.02kV～30kV | |
| 倍率 | 1～2,500,000倍 | |
| 電子銃型 | ショットキー電界放出電子銃 | |
| 標本室 | カメラ | デュアルカメラ（光学ナビゲーション+チャンバーモニター） |
| ステージタイプ | 5軸機械式ユーセントリック試料ステージ | |
| ステージ範囲 |
X=110 mm、Y=110 mm、Z=65 mm
温度: -10°~+70°、右: 360° |
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| SEM検出器と拡張機能 | 標準 |
レンズ内検出器
エバーハート・ソーンリー検出器（ETD） |
| オプション |
格納式後方散乱電子検出器（BSED） 格納式走査透過電子顕微鏡検出器（STEM） 低真空検出器（LVD） エネルギー分散型分光計（EDS / EDX） 電子後方散乱回折パターン（EBSD） 試料交換ロードロック（4インチ/8インチ） トラックボールとノブのコントロールパネル デュオデックモード（デュオデック） |
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| ユーザーインターフェース | 言語 | 英語 |
| オペレーティング·システム | ウィンドウズ | |
| ナビゲーション | 光学ナビゲーション、ジェスチャークイックナビゲーション、トラックボール（オプション） | |
| 自動機能 | 自動明るさ・コントラスト、自動フォーカス、自動非点補正 | |
Ga+集束イオンビーム電界放出走査電子顕微鏡 その CIQTEK DB550 集束イオンビーム走査電子顕微鏡（FIB-SEM） ナノ分析および試料作製用の集束イオンビームカラムを備えています。「スーパートンネル」電子光学技術、低収差、非磁性対物レンズ設計を採用し、「低電圧・高分解能」という特長により、ナノスケールの分析能力を確保しています。 イオンカラムは、Ga+液体金属イオン源から高安定性・高品質イオンビームを供給し、ナノファブリケーション能力を実現します。DB550は、ナノマニピュレーター、ガスインジェクションシステム、そしてユーザーフレンドリーなGUIソフトウェアを統合したオールインワンのナノ分析・ファブリケーションワークステーションです。
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分析的 ショットキー 電界放出走査電子顕微鏡（FESEM） CIQTEK SEM4000Pro 高輝度・長寿命のショットキー電界放出電子銃を搭載した分析用FE-SEMモデルです。3段電磁レンズ設計により、EDS/EDX、EBSD、WDSなどの分析アプリケーションにおいて大きなメリットを提供します。低真空モードと高性能低真空二次電子検出器に加え、格納式反射電子検出器を標準装備しており、導電性の低い試料や非導電性試料の観察に便利です。
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高性能・汎用タングステンフィラメントSEM 顕微鏡 その CIQTEK SEM3200 SEM顕微鏡 SEM3200は、優れた総合性能を備えた汎用性の高いタングステンフィラメント走査型電子顕微鏡（SEM）です。独自のデュアルアノード電子銃構造により、低励起電圧でも高解像度を実現し、画像S/N比を向上させます。さらに、豊富なオプションアクセサリが用意されているため、SEM3200は優れた拡張性を備えた多用途の分析装置となっています。
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CIQTEKを読む SEM 顕微鏡 顧客の洞察とl SEM 業界のリーダーとしての CIQTEK の強みと実績について詳しくご覧ください。 メールアドレス: info@ciqtek.com
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