走査型電子顕微鏡(SEM)のよくある質問
b. シグナル検出:SEM は、S二次 E電子、Back-S を検出することで画像を形成します。散乱されたE電子、および電子と試料との間の相互作用から生じるその他の信号。 試料に磁性元素が含まれている場合、これらの元素は電子の散乱や検出に影響を与える可能性があり、画像品質や組成分析の精度に影響を与える可能性があります。 c. S試料調製: 磁気要素を含む試料は、これらの要素が他の磁性表面に付着する可能性があるため、準備中に問題が発生する可能性があります。したがって、組成分析:EエネルギーD分散Sペクトロメーター (EDS)分析、 試料には磁性元素が含まれており、その磁場が X 線の経路を変更し、X 線の検出に影響を与える可能性があります。 e. 加熱効果:場合によっては、電子ビームと 試料の間の相互作用により熱が発生することがあります。 試験片に磁性元素が含まれている場合、この加熱によって試験片に局所的な磁気変化が生じる可能性があり、SEM 分析の結果に影響を与える可能性があります。 2.放射性試料がSEM検査に及ぼす影響は何ですか? a. S試料 安定性: 放射性崩壊プロセスは、試料の構造に変化を引き起こし、分析結果の安定性と再現性に影響を与える可能性があります。 . b. S試料加熱:放射性崩壊により熱が発生する可能性があり、試料の局所的または全体的な加熱につながり、試料の微細構造に影響を与える可能性があります。 試料と電子ビームとの相互作用。 c. 信号干渉:放射性標本アルファ粒子、ベータ粒子、またはガンマ線が放出される可能性があり、これらが SEM の検出器に干渉し、画像ノイズの増加や画像品質の低下を引き起こす可能性があります。 d. 電荷の蓄積:放射性試料から放出された荷電粒子は、試料表面またはその近傍に電荷を蓄積する可能性があり、電子に影響を与える可能性があります。ビームの集束と走査により、画像の解像度とコントラストに影響を与えます。 e. 検出器の損傷:放射性放射線は、SEM での二次電子および後方散乱電子-の検出に使用される検出器に損傷を与え、その性能と寿命を低下させる可能性があります。 f. 分析干渉: SEM に Eエネルギー D分散型 Sペクトロメーターが装備されている場合(EDS)または他の分析ツールでは、放射性放射線が発生する可能性があります。 X 線検出を妨害し、不正確な結果につながります。 3. 試験片安定性は SEM テストにとって重要ですか? S試料の安定性は、高真空環境および強力な電子ビーム照射下での SEM 試験に