CIQTEK SEM5000 は、高圧電子ビームトンネル技術 (SuperTunnel)、低収差、非浸漬を備えた高度な電子光学コラム設計の恩恵を受け、豊富な機能によってサポートされる高解像度のイメージングおよび分析能力を備えた電界放射型走査電子顕微鏡です。対物レンズにより、低電圧・高分解能イメージングを実現し、磁性試料の分析も可能です。
光学式ナビゲーション、自動化された機能、慎重に設計された人間とコンピューターの対話型ユーザー インターフェイス、および最適化された操作と使用プロセスにより、専門家かどうかに関係なく、高解像度のイメージングと分析作業をすぐに開始して完了できます。
• 低加速電圧での高解像度イメージング。
●電磁複合対物レンズにより低電圧分解能が向上し、磁気試料の観察が可能になります。
• 高圧トンネル技術 (SuperTunnel) により、低電圧分解能が保証されます。
• クロスオーバーのない電子光路により、システム収差が効果的に低減され、解像度が向上します。
• 対物レンズの動作の安定性、信頼性、再現性を確保するための水冷式恒温対物レンズ。
• 自動切り替え可能な絞りを備えた磁気偏向 6 穴のさまざまな絞りシステムは、機械的な調整が不要で、クリックアウェイの高速切り替えにより高解像度イメージングまたは大ビーム分析モードを実現します。
| 主要なパラメータ | 解決 |
0.9 nm @ 15 kV、SE 1.3 nm @ 1.0 kV、SE 0.8 nm @ 30 kV、STEM |
| 加速電圧 | 20V～30kV | |
| 倍率 | 1～250万× | |
| 電子銃の種類 | 高輝度ショットキー電界放出型電子銃 | |
| 試料室 | 真空システム | 全自動制御オイルフリー真空システム |
| カメラ | デュアルカメラ (光学ナビゲーション + チャンバーモニター) | |
| ステージ範囲 |
X：125mm、Y：125mm、Z：50mm T:-10°～+90°、R:360° (*オプションで特大チャンバーバージョンも利用可能) |
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| 検出器と拡張機能 | 標準 |
インレンズSE検出器 エバーハート・ソーンリー検出器 (ETD) |
| オプション |
平面挿入型中角後方散乱電子検出器 STEM 自動格納式走査型透過型電子検出器 試料交換ロードロック ファストビームブランカー エネルギー分散型分光法 (EDS/EDX) 後方散乱電子回折パターン (EBSD) 電子線誘起電流 (EBIC) カソードルミネッセンス (CL) 現場引張ステージ ナノマニピュレーター 大規模な画像の貼り合わせ トラックボールとノブのコントロールパネル |
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| ソフトウェア | 言語 | 英語 |
| オペレーティング·システム | ウィンドウズ | |
| ナビゲーション | ナビカメラ、ジェスチャーナビゲーション | |
| 自動機能 | 自動明るさとコントラスト、自動フォーカス、自動スティグメーター |
集束イオンビーム (FIB) カラムを備えた電界放射型走査電子顕微鏡 (FE-SEM) CIQTEK DB550 集束イオンビーム走査型電子顕微鏡 (FIB-SEM)は、ナノ分析および試料調製用の集束イオンビームカラムを備えています。これは、「スーパー トンネル」電子光学技術、低収差および非磁性対物レンズ設計を利用しており、ナノスケール分析能力を保証する「低電圧、高分解能」機能を備えています。 イオンカラムは、非常に安定した高品質のイオンビームを備えた Ga+ 液体金属イオン源を促進し、ナノ加工能力を確保します。 DB550 は、統合されたナノマニピュレーター、ガス注入システム、およびユーザーフレンドリーな GUI ソフトウェアを備えたオールインワンのナノ分析および製造ワークステーションです。
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超高分解能フィールド排出走査型電子顕微鏡（FESEM） CIQTEK SEM5000X 最適化された電子光学カラムの設計を備えた超高解像度FESEMであり、全体的な異常を30％削減し、0.6 nm@15 kVおよび1.0 nm@1 kVの超高解像度を達成しました。その高解像度と安定性により、高度なナノ構造材料の研究、およびハイテクノードの半導体ICチップの開発と製造において、それを有利にします
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安定性、多用途性、柔軟性、効率性 CIQTEK SEM4000X は、安定性、多用途性、柔軟性、効率性に優れた 電界放射型走査型電子顕微鏡 (FE-SEM)です。 1.0kVで1.9nmの解像度を達成し、さまざまな種類のサンプルの高解像度イメージングの課題に簡単に取り組みます。ウルトラビーム減速モードにアップグレードして、低電圧分解能をさらに高めることができます。 この顕微鏡は、高分解能性能を提供しながら SE および BSE 信号を検出できるカラム内電子検出器 (UD) を備えたマルチ検出器技術を利用しています。チャンバーに取り付けられた電子検出器 (LD) には、結晶シンチレーターと光電子増倍管が組み込まれており、感度と効率が向上し、優れた品質の立体画像が得られます。グラフィック ユーザー インターフェイスはユーザー フレンドリーで、自動輝度とコントラスト、自動フォーカス、自動非点補正器、自動位置合わせなどの自動化機能を備えており、超高解像度画像の迅速なキャプチャが可能です。
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