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電界放射型走査型電子顕微鏡 | SEM5000

CIQTEK SEM5000 は、高圧電子ビームトンネル技術 (SuperTunnel)、低収差、非浸漬を備えた高度な電子光学コラム設計の恩恵を受け、豊富な機能によってサポートされる高解像度のイメージングおよび分析能力を備えた電界放射型走査電子顕微鏡です。対物レンズにより、低電圧・高分解能イメージングを実現し、磁性試料の分析も可能です。

光学式ナビゲーション、自動化された機能、慎重に設計された人間とコンピューターの対話型ユーザー インターフェイス、および最適化された操作と使用プロセスにより、専門家かどうかに関係なく、高解像度のイメージングと分析作業をすぐに開始して完了できます。

 

• 低加速電圧での高解像度イメージング。

●電磁複合対物レンズにより低電圧分解能が向上し、磁気試料の観察が可能になります。

• 高圧トンネル技術 (SuperTunnel) により、低電圧分解能が保証されます。

• クロスオーバーのない電子光路により、システム収差が効果的に低減され、解像度が向上します。

• 対物レンズの動作の安定性、信頼性、再現性を確保するための水冷式恒温対物レンズ。

• 自動切り替え可能な絞りを備えた磁気偏向 6 穴のさまざまな絞りシステムは、機械的な調整が不要で、クリックアウェイの高速切り替えにより高解像度イメージングまたは大ビーム分析モードを実現します。

 

主要なパラメータ 解決

0.9 nm @ 15 kV、SE

1.3 nm @ 1.0 kV、SE

0.8 nm @ 30 kV、STEM

加速電圧 20V~30kV
倍率 1~250万×
電子銃の種類 高輝度ショットキー電界放出型電子銃
試料室 真空システム 全自動制御オイルフリー真空システム
カメラ デュアルカメラ (光学ナビゲーション + チャンバーモニター)
ステージ範囲

X:125mm、Y:125mm、Z:50mm

T:-10°~+90°、R:360°

(*オプションで特大チャンバーバージョンも利用可能)

検出器と拡張機能 標準

インレンズSE検出器

エバーハート・ソーンリー検出器 (ETD)

オプション

平面挿入型中角後方散乱電子検出器

STEM 自動格納式走査型透過型電子検出器

試料交換ロードロック

ファストビームブランカー

エネルギー分散型分光法 (EDS/EDX)

後方散乱電子回折パターン (EBSD)

電子線誘起電流 (EBIC)

カソードルミネッセンス (CL)

現場引張ステージ

ナノマニピュレーター

大規模な画像の貼り合わせ

トラックボールとノブのコントロールパネル

ソフトウェア 言語 英語
オペレーティング·システム ウィンドウズ
ナビゲーション ナビカメラ、ジェスチャーナビゲーション
自動機能 自動明るさとコントラスト、自動フォーカス、自動スティグメーター

 

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