電界放射型走査型電子顕微鏡 | SEM5000

Ga+集束イオンビーム電界放出走査電子顕微鏡 その CIQTEK DB550 集束イオンビーム走査電子顕微鏡（FIB-SEM） ナノ分析および試料作製用の集束イオンビームカラムを備えています。「スーパートンネル」電子光学技術、低収差、非磁性対物レンズ設計を採用し、「低電圧・高分解能」という特長により、ナノスケールの分析能力を確保しています。 イオンカラムは、Ga+液体金属イオン源から高安定性・高品質イオンビームを供給し、ナノファブリケーション能力を実現します。DB550は、ナノマニピュレーター、ガスインジェクションシステム、そしてユーザーフレンドリーなGUIソフトウェアを統合したオールインワンのナノ分析・ファブリケーションワークステーションです。

超高解像度電界放出走査電子顕微鏡（FESEM） その CIQTEK SEM5000X は、最適化された電子光学カラム設計を採用した超高分解能FESEMです。全体的な収差を30%低減し、0.6nm@15kVおよび1.0nm@1kVという超高分解能を実現しています。高い分解能と安定性により、先端ナノ構造材料研究やハイテクノードの半導体ICチップの開発・製造において優位性を発揮します。

安定性、汎用性、柔軟性、効率性 その CIQTEK SEM4000X 安定性、汎用性、柔軟性、効率性に優れています 電界放出走査電子顕微鏡（FE-SEM） 1.9nm@1.0kVの分解能を実現し、様々な種類の試料における高解像度イメージングの課題を容易に解決します。超ビーム減速モードを追加することで、低電圧分解能をさらに向上させることができます。 この顕微鏡はマルチ検出器技術を採用しており、インカラム電子検出器（UD）はSE信号とBSE信号を検出できると同時に高解像度を実現します。チャンバーに搭載された電子検出器（LD）は、結晶シンチレータと光電子増倍管を内蔵し、高感度・高効率を実現し、優れた画質の立体画像を提供します。グラフィカルユーザーインターフェースは使いやすく、自動輝度・コントラスト調整、オートフォーカス、自動非点補正、自動アライメントなどの自動化機能を備えており、超高解像度画像を迅速に取得できます。

高性能・汎用タングステンフィラメントSEM 顕微鏡 その CIQTEK SEM3200 SEM顕微鏡 SEM3200は、優れた総合性能を備えた汎用性の高いタングステンフィラメント走査型電子顕微鏡（SEM）です。独自のデュアルアノード電子銃構造により、低励起電圧でも高解像度を実現し、画像S/N比を向上させます。さらに、豊富なオプションアクセサリが用意されているため、SEM3200は優れた拡張性を備えた多用途の分析装置となっています。