CIQTEK SEM5000 は、高圧電子ビームトンネル技術 (SuperTunnel)、低収差、非浸漬を備えた高度な電子光学コラム設計の恩恵を受け、豊富な機能によってサポートされる高解像度のイメージングおよび分析能力を備えた電界放射型走査電子顕微鏡です。対物レンズにより、低電圧・高分解能イメージングを実現し、磁性試料の分析も可能です。
光学式ナビゲーション、自動化された機能、慎重に設計された人間とコンピューターの対話型ユーザー インターフェイス、および最適化された操作と使用プロセスにより、専門家かどうかに関係なく、高解像度のイメージングと分析作業をすぐに開始して完了できます。
• 低加速電圧での高解像度イメージング。
●電磁複合対物レンズにより低電圧分解能が向上し、磁気試料の観察が可能になります。
• 高圧トンネル技術 (SuperTunnel) により、低電圧分解能が保証されます。
• クロスオーバーのない電子光路により、システム収差が効果的に低減され、解像度が向上します。
• 対物レンズの動作の安定性、信頼性、再現性を確保するための水冷式恒温対物レンズ。
• 自動切り替え可能な絞りを備えた磁気偏向 6 穴のさまざまな絞りシステムは、機械的な調整が不要で、クリックアウェイの高速切り替えにより高解像度イメージングまたは大ビーム分析モードを実現します。
| 主要なパラメータ | 解決 |
0.9 nm @ 15 kV、SE 1.3 nm @ 1.0 kV、SE 0.8 nm @ 30 kV、STEM |
| 加速電圧 | 20V～30kV | |
| 倍率 | 1～250万× | |
| 電子銃の種類 | 高輝度ショットキー電界放出型電子銃 | |
| 試料室 | 真空システム | 全自動制御オイルフリー真空システム |
| カメラ | デュアルカメラ (光学ナビゲーション + チャンバーモニター) | |
| ステージ範囲 |
X：125mm、Y：125mm、Z：50mm T:-10°～+90°、R:360° (*オプションで特大チャンバーバージョンも利用可能) |
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| 検出器と拡張機能 | 標準 |
インレンズSE検出器 エバーハート・ソーンリー検出器 (ETD) |
| オプション |
平面挿入型中角後方散乱電子検出器 STEM 自動格納式走査型透過型電子検出器 試料交換ロードロック ファストビームブランカー エネルギー分散型分光法 (EDS/EDX) 後方散乱電子回折パターン (EBSD) 電子線誘起電流 (EBIC) カソードルミネッセンス (CL) 現場引張ステージ ナノマニピュレーター 大規模な画像の貼り合わせ トラックボールとノブのコントロールパネル |
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| ソフトウェア | 言語 | 英語 |
| オペレーティング·システム | ウィンドウズ | |
| ナビゲーション | ナビカメラ、ジェスチャーナビゲーション | |
| 自動機能 | 自動明るさとコントラスト、自動フォーカス、自動スティグメーター |
集束イオンビーム (FIB) カラムを備えた電界放射型走査電子顕微鏡 (FE-SEM) CIQTEK DB500 集束イオンビーム走査型電子顕微鏡 (FIB-SEM)は、「SuperTunnel」電子光学技術、低収差、低電圧および高分解能機能を備えた非磁性対物レンズ設計を採用しており、ナノスケールの分析です。イオンカラムは、ナノ加工用の非常に安定した高品質のイオンビームを備えた Ga+ 液体金属イオン源を容易にします。[7]。 FIB-SEM DB500 は、統合されたナノマニピュレーター、ガス注入システム、対物レンズ用の電気的汚染防止機構、および 24 個の拡張ポートを備えており、包括的な構成と拡張性を備えた万能のナノ分析および製造プラットフォームとなります。 .
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超高解像度電界放射型走査電子顕微鏡 (FESEM): 0.6 nm@15 kV および 1.0 nm@1 kV CIQTEK SEM5000X 超高解像度 FESEM は、アップグレードされたカラムエンジニアリングプロセス、「SuperTunnel」テクノロジー、および高解像度対物レンズ設計を利用して、低電圧イメージング解像度を向上させます。 FESEM SEM5000Xの試料室ポートは16ポートまで拡張され、試料交換ロードロックは最大8インチウェーハサイズ（最大直径208mm）まで対応し、用途が大幅に拡大しました。高度なスキャン モードと強化された自動機能により、より強力なパフォーマンスとさらに最適化されたエクスペリエンスがもたらされます。
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CIQTEK SEM4000 は、高輝度・長寿命のショットキー電界放出型電子銃を搭載した分析用熱電界放出型走査電子顕微鏡です。 大きなビーム電流を連続的に調整できる 3 段階の磁気レンズ設計は、EDS、EBSD、WDS、およびその他のアプリケーションに明らかな利点をもたらします。低真空モードをサポートし、弱いサンプルまたは非導電性サンプルの導電率を直接観察できます。標準の光学式ナビゲーション モードと直感的な操作インターフェイスにより、分析作業が容易になります。
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高真空モードと低真空モードの両方で優れた画像品質機能を備えた高性能タングステン フィラメント SEM 顕微鏡 CIQTEK SEM3200 SEM 顕微鏡 は、ユーザーフレンドリーなインターフェイスを備えた広い被写界深度を備えており、ユーザーは試料の特性を評価し、顕微鏡イメージングと分析の世界を探索できます。
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