Beyond Nano社、メキシコで開催された第33回国際材料研究会議でCIQTEK SEM3200を発表

高性能・汎用タングステンフィラメントSEM 顕微鏡 その CIQTEK SEM3200 SEM顕微鏡 SEM3200は、優れた総合性能を備えた汎用性の高いタングステンフィラメント走査型電子顕微鏡（SEM）です。独自のデュアルアノード電子銃構造により、低励起電圧でも高解像度を実現し、画像S/N比を向上させます。さらに、豊富なオプションアクセサリが用意されているため、SEM3200は優れた拡張性を備えた多用途の分析装置となっています。

ガ + 集束イオンビーム電界放出走査電子顕微鏡 その CIQTEK DB550 集束イオンビーム走査電子顕微鏡（FIB-SEM） ナノ分析および試料作製用の集束イオンビームカラムを備えています。「スーパートンネル」電子光学技術、低収差、非磁性対物レンズ設計を採用し、「低電圧・高分解能」という特長により、ナノスケールの分析能力を確保しています。 イオンカラムはGa + 極めて安定かつ高品質のイオンビームを発生する液体金属イオン源を搭載し、ナノファブリケーションを実現します。DB550は、ナノマニピュレーター、ガスインジェクションシステム、そしてユーザーフレンドリーなGUIソフトウェアを統合した、オールインワンのナノ分析・ファブリケーションワークステーションです。

超高解像度電界放出走査電子顕微鏡（FESEM） その CIQTEK SEM5000X は、最適化された電子光学カラム設計を採用した超高分解能FESEMです。全体的な収差を30%低減し、0.6nm@15kVおよび1.0nm@1kVという超高分解能を実現しています。高い分解能と安定性により、先端ナノ構造材料研究やハイテクノードの半導体ICチップの開発・製造において優位性を発揮します。