CIQTEK FIB-SEM 実用デモンストレーション - TEM サンプルの準備

FIB-SEMは、 欠陥診断、修復、イオン注入、その場処理、マスク修復、エッチング、集積回路設計修正、チップデバイス製造、大規模集積回路のマスクレス処理などに使用できます。ナノ構造の製造、複雑なナノパターン処理、材料の3次元イメージングと分析、超高感度表面分析、表面改質、透過型電子顕微鏡サンプルの準備など、幅広いアプリケーション要件があり、不可欠です。

CIQTEK DB500 は、ナノ分析および試料調製用の集束イオンビーム (FIB) カラムを備えた電界放出走査電子顕微鏡 (FE-SEM)です。「スーパートンネル」電子光学技術、低収差、無磁性対物レンズ設計が適用され、低電圧および高解像度の能力によりナノスケールの分析機能が保証されます。イオンカラムは、非常に安定した高品質のイオンビームを備えた Ga+ 液体金属イオン源を促進し、ナノ加工機能を保証します。

DB500 には、統合ナノマニピュレーター、ガス注入システム、対物レンズ用の電気的汚染防止機構、および 24 個の拡張ポートが搭載されており、包括的な構成と拡張性を備えた万能ナノ分析および製造プラットフォームとなっています。

DB500 の優れた性能をユーザーに実証するために、電子顕微鏡チームは特別プログラム「CIQTEK FIB ショー」を特別に企画しました。このプログラムでは、材料科学、半導体産業、バイオメディカルなどの分野における幅広いアプリケーションをビデオの形で紹介します。視聴者は DB500 の動作原理を理解し、DB500 が捉える素晴らしい顕微鏡画像を鑑賞し、この技術が科学研究と産業発展に及ぼす重要性を深く探求します。

TEMサンプルの準備

このエピソードでは、DB500 を使用して透過型電子顕微鏡 (TEM) サンプルを効率的かつ正確に準備する方法を紹介します。

動画からわかるように、DB500 は、簡単な操作、少ない前処理手順、低い学習コスト、効率的なテストで TEM サンプルを準備します。固定ポイントでの正確なマイクロおよびナノスケールの切断、制御可能なサイズと均一な厚さを実現し、さまざまな顕微鏡検査および顕微分光分析に適しており、切断、イメージング、分析の統合を実現できます。