CIQTEK社、SEMS 2026にて先進的なSEM技術と米国現地サポートを展示

超高解像度電界放出走査電子顕微鏡（FESEM） その CIQTEK SEM5000X は、最適化された電子光学カラム設計を採用した超高分解能FESEMです。全体的な収差を30%低減し、0.6nm@15kVおよび1.0nm@1kVという超高分解能を実現しています。高い分解能と安定性により、先端ナノ構造材料研究やハイテクノードの半導体ICチップの開発・製造において優位性を発揮します。

安定性、汎用性、柔軟性、効率性   その CIQTEK SEM4000X 安定性、汎用性、柔軟性、効率性に優れています 電界放出走査電子顕微鏡（FE-SEM） 1.0kVで1.8nmの分解能を実現し、様々なサンプルにおける高解像度イメージングの課題を容易に解決します。超ビーム減速モードを追加することで、低電圧分解能をさらに向上させることができます。 この顕微鏡はマルチ検出器技術を採用しており、インカラム電子検出器（UD）はSE信号とBSE信号を検出できると同時に高解像度を実現します。チャンバーに搭載された電子検出器（LD）は、結晶シンチレータと光電子増倍管を内蔵し、高感度・高効率を実現し、優れた品質の立体画像を提供します。グラフィカルユーザーインターフェースは使いやすく、自動輝度・コントラスト調整、オートフォーカス、自動非点補正、自動アライメントなどの自動化機能を備えており、超高解像度画像を迅速に取得できます。

超高解像度 タングステンフィラメント走査型電子顕微鏡 その CIQTEK SEM3300 走査型電子顕微鏡（SEM） 「スーパートンネル」電子光学系、インレンズ電子検出器、静電・電磁複合対物レンズなどの技術を採用しています。これらの技術をタングステンフィラメント顕微鏡に適用することで、長年のSEMの分解能限界を突破し、これまで電界放出型SEMでしか実現できなかった低電圧分析をタングステンフィラメントSEMで実行できるようになります。