fesem edx

超高解像度FESEM | SEM5000X

超高解像度電界放射型走査電子顕微鏡 (FESEM) 限界への挑戦

CIQTEK SEM5000X

ⶠ電子光学

SEM5000X Electron Optics

対物レンズのアップグレード

レンズ色収差を12%低減、レンズ球面収差を20%低減、全体収差を30%低減。

SEM5000X Electron Optics

デュアルビーム減速技術

レンズ内ビーム減速。大容量、断面、不規則な表面を持つ試料に適用可能。デュアル減速技術 (レンズ内ビーム減速 + 試料ステージタンデムビーム減速) は、試料表面信号捕捉シナリオの限界に挑戦します。


ⶠ低電圧高解像度画像


レンズ内電子検出器・試料

  • FESEM Microscope In-lens Electron Detector / Specimen
  • FESEM Microscope ZSM-8 molecular sieve
    ZSM-8 モレキュラーシーブ、複数の最先端研究分野にわたる典型的な触媒。導電性コーティングを使用しない低電圧イメージングにより、モレキュラーシーブ粒子の表面の詳細を直接特徴付けることができます。[63]

ⶠエバーハート・ソーンリー検出器 (ETD)


ⶠ格納式後方散乱電子検出器 (BSED) *オプション

FESEM Retractable Back-Scattered Electron Detector (BSED)

ⶠBSED ベースの ECCI モード (電子チャネリング コントラスト イメージング)

「電子チャネリング効果」とは、入射電子ビームがブラッグ回折条件を満たし、多数の電子が格子を通過できるようになり、したがって「チャネリング」が現れる場合に、結晶格子による電子散乱が大幅に減少することを指します。効果

均一な組成と研磨された平らな表面を備えた多結晶材料の場合、後方散乱電子の強度は入射電子ビームと結晶面の間の相対的な配向に依存します。配向の変化が大きい粒子はより強い信号を示すため、画像が明るくなり、そのような粒子配向マップによる定性的な特性評価が達成されます。


ⶠ各種検出器によるマルチチャンネル同時イメージング


ⶠ格納式走査型透過型電子顕微鏡 (STEM) 検出器

FESEM Retractable Scanning Transmission Electron Microscopy (STEM) Detector

複数の動作モード: 明視野 (BF) イメージング、暗視野 (DF) イメージング、高角度環状暗視野 (HAADF) イメージング


ⶠCIQTEK 電子顕微鏡の進歩 - さらなるオプション

エネルギー分散型分光分析

  • Energy Dispersive Spectrometry

カソーミネッセンス

  • sem image analysis -Catholuminescence
  • sem image analysis - Catholuminescence

EBSD

  • sem EBSD
  • sem EBSD

粒子・細孔解析ソフトウェア(粒子) ※オプション

SEM Particle & Pore Analysis Software (Particle)

CIQTEK SEM 顕微鏡ソフトウェアは、さまざまな種類の粒子や細孔サンプルに適したさまざまなターゲット検出およびセグメンテーション アルゴリズムを採用しています。これにより、粒子および細孔統計の定量分析が可能になり、材料科学、地質学、環境科学などの分野に応用できます。


ⶠ画像後処理ソフトウェア *オプション

SEM Microscope Image Post-processing Software

電子顕微鏡で取得した画像に対してオンラインまたはオフラインで画像後処理を実行し、一般的に使用される EM 画像処理機能、便利な測定、および注釈ツールを統合します。


ⶠ自動測定 *オプション

SEM Microscope software Auto Measure

線幅エッジの自動認識により、より正確な測定とより高い一貫性が実現します。ライン、スペース、ピッチなどの複数のエッジ検出モードをサポート。複数の画像フォーマットに対応し、一般的に使用されるさまざまな画像後処理機能を備えています。このソフトウェアは使いやすく、効率的で正確です。


ⶠソフトウェア開発キット (SDK) *オプション

SEM Microscope Software Development Kit (SDK)

画像取得、動作条件設定、電源オン/オフ、ステージ制御などを含む、SEM 顕微鏡を制御するための一連のインターフェイスを提供します。簡潔なインターフェイス定義により、特定の電子顕微鏡操作スクリプトとソフトウェアの迅速な開発が可能になり、関心領域の自動追跡、産業オートメーションデータ収集、画像ドリフト補正、およびその他の機能。珪藻分析、鉄鋼不純物検査、清浄度分析、原材料管理などの専門分野のソフトウェア開発に使用できます


ⶠオートマップ *オプション

FESEM Microscope software Auto Measure

CIQTEK SEM5000X FESEM 顕微鏡仕様
電子光学 解決策 0.6 nm @ 15 kV、SE
1.0 nm @ 1 kV、SE
加速電圧 0.02kV ~30kV
倍率 1~2,500,000×
電子銃型 ショットキー電界放出型電子銃
標本室 カメラ デュアルカメラ (光学ナビゲーション + チャンバーモニター)
ステージタイプ 5 軸機械式ユーセントリック試料ステージ
ステージ範囲 X=110mm、Y=110mm、Z=65mm
T:-10*~+70°、R:360°
SEM 検出器と拡張機能 スタンダード レンズ内検出器
エバーハート・ソーンリー検出器 (ETD)
オプション

格納式後方散乱電子検出器 (BSED)

格納式走査型透過型電子顕微鏡検出器 (STEM)

低真空検出器 (LVD)

エネルギー分散型分光計(EDS/EDX)

後方散乱電子回折パターン (EBSD)

試料交換ロードロック(4インチ・8インチ)

トラックボール&ノブコントロールパネル

Duo-Dec モード (Duo-Dec)

ユーザーインターフェース 言語 英語
オペレーティングシステム ウィンドウズ
ナビゲーション 光学式ナビゲーション、ジェスチャー クイック ナビゲーション、トラックボール (オプション)
自動機能 自動明るさとコントラスト、自動フォーカス、自動スティグマメーター

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