安定性、多用途性、柔軟性、効率性
CIQTEK SEM4000X は、安定性、多用途性、柔軟性、効率性に優れた 電界放射型走査型電子顕微鏡 (FE-SEM)です。 1.0kVで1.9nmの解像度を達成し、さまざまな種類のサンプルの高解像度イメージングの課題に簡単に取り組みます。ウルトラビーム減速モードにアップグレードして、低電圧分解能をさらに高めることができます。
この顕微鏡は、高分解能性能を提供しながら SE および BSE 信号を検出できるカラム内電子検出器 (UD) を備えたマルチ検出器技術を利用しています。チャンバーに取り付けられた電子検出器 (LD) には、結晶シンチレーターと光電子増倍管が組み込まれており、感度と効率が向上し、優れた品質の立体画像が得られます。グラフィック ユーザー インターフェイスはユーザー フレンドリーで、自動輝度とコントラスト、自動フォーカス、自動非点補正器、自動位置合わせなどの自動化機能を備えており、超高解像度画像の迅速なキャプチャが可能です。
CIQTEK SEM 顕微鏡ソフトウェアは、さまざまな種類の粒子や細孔サンプルに適したさまざまなターゲット検出およびセグメンテーション アルゴリズムを採用しています。これにより、粒子および細孔統計の定量分析が可能になり、材料科学、地質学、環境科学などの分野に応用できます。
電子顕微鏡で取得した画像に対してオンラインまたはオフラインで画像後処理を実行し、一般的に使用される EM 画像処理機能、便利な測定、および注釈ツールを統合します。
線幅エッジの自動認識により、より正確な測定とより高い一貫性が実現します。ライン、スペース、ピッチなどの複数のエッジ検出モードをサポート。複数の画像フォーマットに対応し、一般的に使用されるさまざまな画像後処理機能を備えています。このソフトウェアは使いやすく、効率的で正確です。
画像取得、動作条件設定、電源オン/オフ、ステージ制御などを含む、SEM 顕微鏡を制御するための一連のインターフェイスを提供します。簡潔なインターフェイス定義により、特定の電子顕微鏡操作スクリプトとソフトウェアの迅速な開発が可能になり、関心領域の自動追跡、産業オートメーションデータ収集、画像ドリフト補正、およびその他の機能。珪藻分析、鉄鋼不純物検査、清浄度分析、原材料管理などの専門分野のソフトウェア開発に使用できます
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| CIQTEK SEM4000X FESEM 顕微鏡仕様 | ||
| 電子光学 | 解決策 | 0.9 nm@30 kV、SE 1.2 nm@15 kV、SE 1.9 nm@1 kV、SE 1.5 nm@1 kV (ウルトラビーム減速) 1 nm@15 kV（ウルトラビーム減速） |
| 加速電圧 | 0.2kV～30kV | |
| 倍率（ポラロイド） | 1～1,000,000× | |
| 電子銃型 | ショットキー電界放出型電子銃 | |
| 標本室 | カメラ | デュアルカメラ (光学ナビゲーション + チャンバーモニタリング) |
| ステージ範囲 |
X：110mm Y:110mm Z:50mm T: -10°~ +70° R:360° |
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| SEM 検出器と拡張機能 | スタンダード |
レンズ内電子検出器：UD-BSE/UD-SE エバーハート・ソーンリー検出器: LD |
| オプション |
反射電子検出器 (BSED) 格納式走査型透過型電子顕微鏡検出器 (STEM) 低真空検出器 (LVD) エネルギー分散型分光計（EDS/EDX） 後方散乱電子回折パターン (EBSD) 試料交換ロードロック(4インチ/8インチ) トラックボール & ノブ コントロール パネル ウルトラビーム減速モード技術 |
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| ユーザーインターフェース | 言語 | 英語 |
| OS | Windows | |
| ナビゲーション | 光学式ナビゲーション、ジェスチャー クイック ナビゲーション、トラックボール (オプション) | |
| 自動機能 | 自動明るさとコントラスト、自動フォーカス、自動スティグマメーター | |
集束イオンビーム (FIB) カラムを備えた電界放射型走査電子顕微鏡 (FE-SEM) CIQTEK DB550 集束イオンビーム走査型電子顕微鏡 (FIB-SEM)は、ナノ分析および試料調製用の集束イオンビームカラムを備えています。これは、「スーパー トンネル」電子光学技術、低収差および非磁性対物レンズ設計を利用しており、ナノスケール分析能力を保証する「低電圧、高分解能」機能を備えています。 イオンカラムは、非常に安定した高品質のイオンビームを備えた Ga+ 液体金属イオン源を促進し、ナノ加工能力を確保します。 DB550 は、統合されたナノマニピュレーター、ガス注入システム、およびユーザーフレンドリーな GUI ソフトウェアを備えたオールインワンのナノ分析および製造ワークステーションです。
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超高分解能フィールド排出走査型電子顕微鏡（FESEM） CIQTEK SEM5000X 最適化された電子光学カラムの設計を備えた超高解像度FESEMであり、全体的な異常を30％削減し、0.6 nm@15 kVおよび1.0 nm@1 kVの超高解像度を達成しました。その高解像度と安定性により、高度なナノ構造材料の研究、およびハイテクノードの半導体ICチップの開発と製造において、それを有利にします
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