次世代タングステンフィラメント走査型電子顕微鏡
CIQTEK SEM3300走査型電子顕微鏡 (SEM)には、「スーパートンネル」電子光学、インレンズ電子検出器、静電および電磁複合対物レンズなどの技術が組み込まれています。これらの技術をタングステン フィラメント顕微鏡に適用することにより、このような SEM の長年の分解能限界が超えられ、以前は電界放出型 SEM でのみ達成できた低電圧分析タスクをタングステン フィラメント SEM で実行できるようになりました。
リチウム電池の隔膜を 1 kV、倍率 20,000 倍でフィルムで撮影した画像、SEM3300 で撮影した画像
垂直に取り付けられたチャンバー カメラを使用して試料ステージのナビゲーション用の光学画像をキャプチャすると、より直感的で正確な試料の位置決めが可能になります。
自動明るさとコントラスト、自動フォーカス、自動乱視補正機能が向上しました。ワンクリックで画像化！
調整済みの交換用フィラメント モジュールはすぐに使用できます。
CIQTEK SEM 顕微鏡ソフトウェアは、さまざまな種類の粒子や細孔サンプルに適したさまざまなターゲット検出およびセグメンテーション アルゴリズムを採用しています。これにより、粒子および細孔統計の定量分析が可能になり、材料科学、地質学、環境科学などの分野に応用できます。
電子顕微鏡で取得した画像に対してオンラインまたはオフラインで画像後処理を実行し、一般的に使用される EM 画像処理機能、便利な測定、および注釈ツールを統合します。
線幅エッジの自動認識により、より正確な測定とより高い一貫性が実現します。ライン、スペース、ピッチなどの複数のエッジ検出モードをサポート。複数の画像フォーマットに対応し、一般的に使用されるさまざまな画像後処理機能を備えています。このソフトウェアは使いやすく、効率的で正確です。
画像取得、動作条件設定、電源オン/オフ、ステージ制御などを含む、SEM 顕微鏡を制御するための一連のインターフェイスを提供します。簡潔なインターフェイス定義により、特定の電子顕微鏡操作スクリプトとソフトウェアの迅速な開発が可能になり、関心領域の自動追跡、産業オートメーションデータ収集、画像ドリフト補正、およびその他の機能。珪藻分析、鉄鋼不純物検査、清浄度分析、原料管理などの専門分野のソフトウェア開発に使用可能
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| CIQTEK SEM3300 SEM 顕微鏡仕様 | ||||
| 電子光学 | 解決策 | 2.5 nm @ 15 kV、SE 4 nm @ 3 kV、SE 5 nm @ 1 kV、SE |
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| 加速電圧 | 0.1kV～30kV | |||
| 倍率（ポラロイド） | 1×～300,000× | |||
| 標本室 | カメラ | 光学ナビゲーション | ||
| チャンバーモニタリング | ||||
| ステージタイプ | 5軸真空対応電動 | |||
| XY範囲 | 125mm | |||
| Zレンジ | 50mm | |||
| Tレンジ | -10°～90° | |||
| Rレンジ | 360° | |||
| SEM 検出器 | スタンダード | レンズ内電子検出器 (Inlens) エバーハート・ソーンリー検出器 (ETD) |
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| オプション | リトラクタブル後方散乱電子検出器 (BSED) エネルギー分散型分光器 (EDS / EDX) 後方散乱電子回折パターン (EBSD) |
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| オプション | 試料交換ロードロック | |||
| トラックボール&ノブコントロールパネル | ||||
| ユーザーインターフェース | オペレーティングシステム | ウィンドウズ | ||
| ナビゲーション | 光学式ナビゲーション、ジェスチャークイックナビゲーション、トラックボール (オプション) | |||
| 自動機能 | 自動明るさとコントラスト、自動フォーカス、自動スティグマメーター | |||
集束イオンビーム (FIB) カラムを備えた電界放射型走査電子顕微鏡 (FE-SEM) CIQTEK DB550 集束イオンビーム走査型電子顕微鏡 (FIB-SEM)は、ナノ分析および試料調製用の集束イオンビームカラムを備えています。これは、「スーパー トンネル」電子光学技術、低収差および非磁性対物レンズ設計を利用しており、ナノスケール分析能力を保証する「低電圧、高分解能」機能を備えています。 イオンカラムは、非常に安定した高品質のイオンビームを備えた Ga+ 液体金属イオン源を促進し、ナノ加工能力を確保します。 DB550 は、統合されたナノマニピュレーター、ガス注入システム、およびユーザーフレンドリーな GUI ソフトウェアを備えたオールインワンのナノ分析および製造ワークステーションです。
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大容量試料のクロススケールイメージングを実現する高速走査型電子顕微鏡 CIQTEK HEM6000高輝度大ビーム電流電子銃、高速電子ビーム偏向システム、高電圧試料ステージ減速、ダイナミック光軸、液浸電磁・静電コンボ対物レンズなどの設備技術ナノスケールの解像度を確保しながら高速画像取得を実現します。 自動化された操作プロセスは、より効率的かつスマートな大面積高解像度イメージング ワークフローなどのアプリケーション向けに設計されています。イメージング速度は、従来の電界放射型走査電子顕微鏡 (FESEM) よりも 5 倍以上高速に達することができます。
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超高分解能フィールド排出走査型電子顕微鏡（FESEM） CIQTEK SEM5000X 最適化された電子光学カラムの設計を備えた超高解像度FESEMであり、全体的な異常を30％削減し、0.6 nm@15 kVおよび1.0 nm@1 kVの超高解像度を達成しました。その高解像度と安定性により、高度なナノ構造材料の研究、およびハイテクノードの半導体ICチップの開発と製造において、それを有利にします
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