大ビーム I
を備えた分析用電界放射型走査電子顕微鏡 (FESEM)CIQTEK SEM4000Proは、高輝度・長寿命のショットキー電界放出型電子銃を搭載したFE-SEMの解析モデルです。 3 段階の電磁レンズ設計 は、EDS / EDX、EBSD、WDS などの分析アプリケーションに大きな利点をもたらします。低真空モードと高性能低真空二次電子検出器、および格納可能な反射電子検出器が標準装備されており、導電性の低いまたは非導電性の試料の観察に役立ちます。
低真空モードでは、圧力制限アパーチャなしで 10 ～ 180 Pa の範囲に到達できます。特別に設計された対物レンズ真空チャンバーは、低真空条件下での電子の平均自由行程を最小限に抑え、低真空モード下で 30 kV で 1.5 nm の分解能を達成します。
試料表面からの二次電子放出により空気分子がイオン化され、同時に電子、イオン、光子が生成されます。生成された電子は他の空気分子をさらにイオン化し、低真空二次電子検出器 (LVD) はそのようなプロセスで生成される大量の光子信号を捕捉します。
入射電子ビームは試料表面の空気分子をイオン化し、電子とイオンを生成します。これらのイオンは表面の帯電を中和するため、帯電効果が減少します。
CIQTEK SEM 顕微鏡ソフトウェアは、さまざまな種類の粒子や細孔サンプルに適したさまざまなターゲット検出およびセグメンテーション アルゴリズムを採用しています。これにより、粒子および細孔統計の定量分析が可能になり、材料科学、地質学、環境科学などの分野に応用できます。
電子顕微鏡で取得した画像に対してオンラインまたはオフラインで画像後処理を実行し、一般的に使用される EM 画像処理機能、便利な測定、および注釈ツールを統合します。
線幅エッジの自動認識により、より正確な測定とより高い一貫性が実現します。ライン、スペース、ピッチなどの複数のエッジ検出モードをサポート。複数の画像フォーマットに対応し、一般的に使用されるさまざまな画像後処理機能を備えています。このソフトウェアは使いやすく、効率的で正確です。
画像取得、動作条件設定、電源オン/オフ、ステージ制御などを含む、SEM 顕微鏡を制御するための一連のインターフェイスを提供します。簡潔なインターフェイス定義により、特定の電子顕微鏡操作スクリプトとソフトウェアの迅速な開発が可能になり、関心領域の自動追跡、産業オートメーションデータ収集、画像ドリフト補正、およびその他の機能。珪藻分析、鉄鋼不純物検査、清浄度分析、原材料管理などの専門分野のソフトウェア開発に使用できます
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| CIQTEK SEM4000Pro FESEM 顕微鏡仕様 | |||
| 電子光学 | 解決策 | 高真空 |
0.9 nm @ 30 kV、SE |
| 低真空 |
2.5 nm @ 30 kV、BSE、30 Pa 1.5 nm @ 30 kV、SE、30 Pa |
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| 加速電圧 | 0.2kV～30kV | ||
| 倍率（ポラロイド） | 1～1,000,000× | ||
| 電子銃型 | ショットキー電界放出型電子銃 | ||
| 標本室 | 低真空 | 最大180Pa | |
| カメラ | デュアルカメラ (光学ナビゲーション + チャンバーモニタリング) | ||
| XY範囲 | 110mm | ||
| Zレンジ | 65mm | ||
| Tレンジ | -10°～+70° | ||
| Rレンジ | 360° | ||
| SEM 検出器と拡張機能 | スタンダード |
エバーハート・ソーンリー検出器 (ETD) 低真空検出器 (LVD) 反射電子検出器 (BSED) |
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| オプション |
格納式走査透過型電子顕微鏡検出器 (STEM) エネルギー分散型分光計(EDS/EDX) 後方散乱電子回折パターン (EBSD) 試料交換ロードロック (4 インチ / 8 インチ) トラックボール & ノブ コントロール パネル |
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| ユーザーインターフェース | 言語 | 英語 | |
| OS | ウィンドウ | ||
| ナビゲーション | 光学式ナビゲーション、ジェスチャークイックナビゲーション、トラックボール (オプション) | ||
| 自動機能 | 自動明るさとコントラスト、自動フォーカス、自動スティグマメーター | ||
集束イオンビーム (FIB) カラムを備えた電界放射型走査電子顕微鏡 (FE-SEM) CIQTEK DB550 集束イオンビーム走査型電子顕微鏡 (FIB-SEM)は、ナノ分析および試料調製用の集束イオンビームカラムを備えています。これは、「スーパー トンネル」電子光学技術、低収差および非磁性対物レンズ設計を利用しており、ナノスケール分析能力を保証する「低電圧、高分解能」機能を備えています。 イオンカラムは、非常に安定した高品質のイオンビームを備えた Ga+ 液体金属イオン源を促進し、ナノ加工能力を確保します。 DB550 は、統合されたナノマニピュレーター、ガス注入システム、およびユーザーフレンドリーな GUI ソフトウェアを備えたオールインワンのナノ分析および製造ワークステーションです。
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超高分解能フィールド排出走査型電子顕微鏡（FESEM） CIQTEK SEM5000X 最適化された電子光学カラムの設計を備えた超高解像度FESEMであり、全体的な異常を30％削減し、0.6 nm@15 kVおよび1.0 nm@1 kVの超高解像度を達成しました。その高解像度と安定性により、高度なナノ構造材料の研究、およびハイテクノードの半導体ICチップの開発と製造において、それを有利にします
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