断続陽極
間欠陽極は、陰極アセンブリと陽極の間に設置されます。低い励起電圧下では、電子ビームの抽出効率を改善することができ、解像度を10%向上させ、信号対雑音比を30%向上させることができる
。炭素材料サンプルの場合、低い励起電圧下ではビームの侵入深さが浅くなり、試料のより詳細な詳細を含む真の表面形態情報を捕捉することが可能になります。
ポリマー繊維サンプルの場合、高励起電圧は試料にビーム損傷を引き起こしますが、低電圧ビームでは損傷することなく表面の詳細を保存できます。
CIQTEK SEM3200 SEM 顕微鏡は 2 段階の低真空モードをサポートしています。圧力制限アパーチャなしで 5 ~ 180 Pa のチャンバー圧力に到達でき、PLA を使用すると 180 ~ 1000 Pa が達成可能です。特別に設計された対物レンズ真空チャンバーは、低真空中での電子の平均自由行程を最小限に抑え、30 kV で 3 nm の分解能を維持します。
入射電子ビームは表面上の空気分子をイオン化して電子とイオンを生成し、イオンが試料表面に生成された荷電粒子を中和して帯電緩和効果を達成します。
試料表面からの二次電子放出により空気分子がイオン化され、電子、イオン、光信号が同時に発生します。生成された電子は他の空気分子をイオン化し、多数の光信号が生成され、低真空検出器 (LVD) によって捕捉されます。[86]
高真空モードでは、LVD は試料から放出されるカソードルミネッセンス信号を直接検出します。これは、BSED チャネルからの同時イメージングとともに、カソードルミネッセンス イメージング用にキャプチャできます。
垂直に取り付けられたチャンバー カメラを使用して試料ステージのナビゲーション用の光学画像をキャプチャすると、より直感的で正確な試料の位置決めが可能になります。
このモードでは、X と Y の非点収差の値がピクセルによって異なります。画像の鮮明さは最適な非点収差値で最大化され、非点収差補正器の迅速な調整が可能になります。
自動明るさとコントラスト、自動フォーカス、自動乱視補正機能が向上しました。ワンクリックで画像化!
調整済みの交換用フィラメント モジュールはすぐに使用できます。
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CIQTEK SEM 顕微鏡ソフトウェアは、さまざまな種類の粒子や細孔サンプルに適したさまざまなターゲット検出およびセグメンテーション アルゴリズムを採用しています。これにより、粒子および細孔統計の定量分析が可能になり、材料科学、地質学、環境科学などの分野に応用できます。
電子顕微鏡で取得した画像に対してオンラインまたはオフラインで画像後処理を実行し、一般的に使用される EM 画像処理機能、便利な測定、および注釈ツールを統合します。
線幅エッジの自動認識により、より正確な測定とより高い一貫性が実現します。ライン、スペース、ピッチなどの複数のエッジ検出モードをサポート。複数の画像フォーマットに対応し、一般的に使用されるさまざまな画像後処理機能を備えています。このソフトウェアは使いやすく、効率的で正確です。
画像取得、動作条件設定、電源オン/オフ、ステージ制御などを含む、SEM 顕微鏡を制御するための一連のインターフェイスを提供します。簡潔なインターフェイス定義により、特定の電子顕微鏡操作スクリプトとソフトウェアの迅速な開発が可能になり、関心領域の自動追跡、産業オートメーションデータ収集、画像ドリフト補正、およびその他の機能。珪藻分析、鉄鋼不純物検査、清浄度分析、原料管理などの専門分野のソフトウェア開発に使用可能
。CIQTEK SEM3200 SEM 顕微鏡 | ||||
電子光学 | 解決策 | 3 nm @ 30 kV、SE 7 nm @ 3 kV、SE 4 nm @ 30 kV、BSE 3 nm @ 30 kV、SE、30 Pa |
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加速電圧 | 0.2kV~30kV | |||
倍率(ポラロイド) | 1 x ~ 300,000 x | |||
試料室 | 低真空 | 5 ~ 1000 Pa (オプション) | ||
カメラ | 光学ナビゲーション | |||
チャンバーモニタリング | ||||
ステージタイプ | 5軸真空対応電動 | |||
XY範囲 | 125mm | |||
Zレンジ | 50mm | |||
Tレンジ | -10°~90° | |||
Rレンジ | 360° | |||
SEM 検出器 | スタンダード | エバーハート・ソーンリー検出器 (ETD) | ||
オプション | リトラクタブル後方散乱電子検出器 (BSED) エネルギー分散型分光器 (EDS / EDX) 後方散乱電子回折パターン (EBSD) |
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オプション | 標本交換ロードロック | |||
トラックボール & ノブ コントロール パネル | ||||
ユーザーインターフェース | オペレーティング システム | ウィンドウ | ||
ナビゲーション | 光学式ナビゲーション、ジェスチャークイックナビゲーション、トラックボール (オプション) | |||
自動機能 | 自動明るさとコントラスト、自動フォーカス、自動スティグマメーター |