滞留時間 10 ns/ピクセル、最大画像取得速度 2*100M ピクセル/秒
大容量試料
のクロススケールイメージングを実現する高速走査型電子顕微鏡CIQTEK HEM6000高輝度大ビーム電流電子銃、高速電子ビーム偏向システム、高電圧試料ステージ減速、ダイナミック光軸、液浸電磁・静電コンボ対物レンズなどの設備技術ナノスケールの解像度を確保しながら高速画像取得を実現します
。自動化された操作プロセスは、より効率的かつスマートな大面積高解像度イメージング ワークフローなどのアプリケーション向けに設計されています。イメージング速度は、従来の電界放射型走査電子顕微鏡 (FESEM) よりも 5 倍以上高速に達することができます。
| HEM6000-セミ | HEM6000-バイオ | HEM6000-Lit |
| 低電圧&高解像度 | 低電圧&高解像度 | 簡単な操作 |
| 広い視野 | 生物学分野向けのさまざまな自動アルゴリズム | 豊富な選択オプション |
| 特別に最適化されたアルゴリズムにより、繰り返しの多い試験片を簡単に位置合わせできます | 生物学的用途に最適化された BSE 検出器 | 高速自動ワークフロー |
| 5段階静電偏向 | 生物3D再構築システム |
| CIQTEK 高速 SEM 顕微鏡 HEM6000 仕様 | HEM6000-セミ | HEM6000-バイオ | HEM6000-Lite | |
| 電子光学 | 解決策 | 1.5 nm@1 kV SE | 1.8 nm@1 kV BSE | 1.5 nm@15 kV BSE |
| 加速電圧 | 0.1 kv～6 kV (減速モード) | 6 kV～30 kV (減速なしモード) | 6kV～30kV | |
| 倍率 | 66~1,000,000x | |||
| 電子銃 | 高輝度ショットキー電界放出型電子銃 | |||
| 対物レンズの種類 | 液浸電磁・静電複合対物レンズ | |||
| 静電偏向器 | 5段階 | 4段 | 4段 | |
| サンプルローディングシステム | 真空システム | 全自動オイルフリー真空システム | ||
| 検体モニタリング | 水平メインチャンバー監視カメラ;垂直サンプル交換ロードロック室監視カメラ | |||
| 最大サンプルサイズ | 直径4インチ | |||
| 試料ステージタイプ | 電動 3 軸試料ステージ (*オプションの圧電駆動試料ステージ) | |||
| 試料ステージトラベルラン | X、Y:110mm; Z:16mm | |||
| 試料ステージの再現性 | X±0.6μm±0.3μm | |||
| 標本交換 | 全自動 | |||
| サンプル交換時間 | <15 分 | |||
| ロードロックチャンバーの清掃 | 全自動プラズマ洗浄システム | |||
| 画像の取得と処理 | 滞留時間 | 10ns/ピクセル | ||
| 取得速度 | 2*100 M ピクセル/秒 | |||
| 画像サイズ | 16K*16K | |||
| 検出器とアクセサリ | ローアングル格納式後方散乱電子検出器 | オプション | なし | スタンダード |
| ローアングル後方散乱電子検出器、下部取り付け | オプション | スタンダード | なし | |
| インカラム総合電子検出器 | スタンダード | オプション | オプション | |
| インカラム高角後方散乱電子検出器 | オプション | オプション | オプション | |
| 圧電駆動試料ステージ | オプション | オプション | オプション | |
| 高解像度ラージ FOV モード (SW) | オプション | なし | なし | |
| ロードロックチャンバープラズマ洗浄システム | オプション | オプション | オプション | |
| 6 インチ試料ローディング システム | オプション | オプション | オプション | |
| アクティブ防振プラットフォーム | オプション | オプション | オプション | |
| Al ノイズ低減;大面積フィールドステッチ。 3D再構成 | オプション | オプション | オプション | |
| ユーザーインターフェース | 言語 | 英語 | ||
| OS | ウィンドウ | |||
| ナビゲーション | 光学ナビゲーション、ジェスチャーナビゲーション | |||
| 自動機能 | 自動サンプル認識、自動撮像領域選択、自動明るさとコントラスト、自動フォーカス、自動スティグマメーター | |||
集束イオンビーム (FIB) カラムを備えた電界放射型走査電子顕微鏡 (FE-SEM) CIQTEK DB550 集束イオンビーム走査型電子顕微鏡 (FIB-SEM)は、ナノ分析および試料調製用の集束イオンビームカラムを備えています。これは、「スーパー トンネル」電子光学技術、低収差および非磁性対物レンズ設計を利用しており、ナノスケール分析能力を保証する「低電圧、高分解能」機能を備えています。 イオンカラムは、非常に安定した高品質のイオンビームを備えた Ga+ 液体金属イオン源を促進し、ナノ加工能力を確保します。 DB550 は、統合されたナノマニピュレーター、ガス注入システム、およびユーザーフレンドリーな GUI ソフトウェアを備えたオールインワンのナノ分析および製造ワークステーションです。
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大ビーム I を備えた分析用電界放射型走査電子顕微鏡 (FESEM) CIQTEK SEM4000Proは、高輝度・長寿命のショットキー電界放出型電子銃を搭載したFE-SEMの解析モデルです。 3 段階の電磁レンズ設計 は、EDS / EDX、EBSD、WDS などの分析アプリケーションに大きな利点をもたらします。低真空モードと高性能低真空二次電子検出器、および格納可能な反射電子検出器が標準装備されており、導電性の低いまたは非導電性の試料の観察に役立ちます。
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