エネルギー分散型 X 線分光法 (EDS): EDS は、SEM でよく使用される分析技術です。サンプルに電子ビームを照射すると、サンプルから放射される特性 X 線を検出します。これらの X 線のエネルギーと強度から、サンプルの元素組成に関する情報が得られます。SEM EDS を使用すると、サンプル内に存在する元素を識別および定量化できるため、元素構成と化学特性に関する貴重な情報が得られます。
エネルギー分散型 X 線分析 (EDX): EDX は EDS の別名で、エネルギー分散型 X 線分光法を使用したサンプルの分析と調査を指します。サンプルから放出される X 線を検出して分析し、存在する元素とその濃度に関する情報を取得します。SEM EDX は、定性的および定量的な元素分析、微量元素の特定、サンプル全体の元素分布のマッピングを行う強力なツールです。
SEM と EDS/EDX を組み合わせると、次のようないくつかの利点と用途が生まれます。
1. 元素分析
SEM EDS/EDX を使用すると、サンプルの定性的および定量的な元素分析が可能になります。微量元素を含む材料内の化学組成と元素分布を特定できます。