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CIQTEK is the manufacturer and global supplier of high-value scientific instruments, such as Scanning Electron Microscopes (SEM and FIB-SEM), Electron Paramagnetic Resonance (Electron Spin Resonance) Spectroscopy, Scanning NV Probe Microscope, Gas Adsorption Analyzer, etc.
fesem edx

超高解像度FESEM | SEM5000X

超高解像度電界放射型走査電子顕微鏡 (FESEM): 0.6 nm@15 kV および 1.0 nm@1 kV

CIQTEK SEM5000X 超高解像度 FESEM は、アップグレードされたカラムエンジニアリングプロセス、「SuperTunnel」テクノロジー、および高解像度対物レンズ設計を利用して、低電圧イメージング解像度を向上させます

FESEM SEM5000Xの試料室ポートは16ポートまで拡張され、試料交換ロードロックは最大8インチウェーハサイズ(最大直径208mm)まで対応し、用途が大幅に拡大しました。高度なスキャン モードと強化された自動機能により、より強力なパフォーマンスとさらに最適化されたエクスペリエンスがもたらされます。

CIQTEK FESEM SEM5000X 仕様

主要パラメータ 解決策

0.6 nm @ 15 kV、SE

1.0 nm @ 1 kV、SE

加速電圧 0.02~30kV
倍率 1~2,500,000×
電子銃型 ショットキー電界放出型電子銃
標本室
真空システム
完全自動制御
カメラ デュアルカメラ (光学ナビゲーション + チャンバーモニター)
ステージタイプ 5 軸機械式ユーセントリック試料ステージ
ステージ範囲

X=110mm、Y=110mm、Z=65mm

T:-10*~+70°、R:360°

SEM 検出器と拡張機能 スタンダード

レンズ内検出器

エバーハート・ソーンリー検出器 (ETD)

オプション

格納式後方散乱電子検出器 (BSED)

格納式走査型透過電子顕微鏡検出器 (STEM)

エネルギー分散型分光計(EDS/EDX)

後方散乱電子回折パターン (EBSD)

試料交換ロードロック (4 インチおよび 8 インチはオプション)

トラックボール & ノブ コントロール パネル

試料ステージタンデム減速

磁界および音響ノイズエンクロージャシステム (SEMI 認定)

ソフトウェア 言語

英語

オペレーティングシステム

ウィンドウ

ナビゲーション

ナビカメラ、ジェスチャークイックナビゲーション

自動機能

自動明るさとコントラスト、自動フォーカス、自動スティグマメーター

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