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走査型電子顕微鏡検出器
走査型電子顕微鏡 (SEM) は、材料科学、生命科学、その他の分野でのさまざまな用途に使用できる強力なツールです。より多くの情報を取得し、SEM の性能を向上させるために、さまざまな種類の検出器が開発されてきました。以下は、一般的なSEM 検出器の種類です。
後方散乱電子検出器 (BSE): BSE 検出器は、物質内の原子核や高原子番号元素によって散乱された電子を検出するために使用されます。BSE 検出器は、材料の組成分析や微細構造の特性評価に使用できる高コントラストの画像を提供します。
二次電子検出器 (SE): SE 検出器は、走査電子ビームによって励起された材料の表面上の二次電子を検出するために使用されます。表面の形態と材料の組成は二次電子に影響を与えるため、SE 検出器は表面トポグラフィーの高解像度画像を提供します。
透過電子検出器 (TED): TED 検出器は、薄いシート状の材料を通過して検出器に焦点を合わせた透過電子を検出するために使用されます。TED 検出器は、ナノ粒子の原子レベルの特性評価など、材料の高解像度の組成および構造分析に適しています。
エネルギー分散型 X 線分光法 (EDS): EDS 検出器は、材料の元素組成を分析するために使用されます。走査型電子ビームがサンプルと相互作用すると、特性 X 線が生成され、EDS 検出器はこれらの X 線のエネルギー スペクトルを収集して測定し、材料の化学組成と元素分布を決定します。
遅延場検出器 (RFD): RFD 検出器は、サンプルの表面で生成された電子によって運ばれる電荷を測定するために使用されます。このタイプの検出器は、材料の電気伝導率と表面電荷特性を研究するのに非常に役立ちます。
これらは一般的な SEM 検出器の一部にすぎません。実際には、他にも多くの種類の検出器があり、それぞれに利点と用途が異なります。適切な検出器の選択は、研究の目的と取得する情報によって異なります。
CIQTEK が自社開発した SEM では、 BSED、STEM、EDS、EDX、EBSD、インレンズ、ETDなど、 幅広い検出器から選択できます。
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