CIQTEK SEM5000X は、15 kV で 0.6 nm および 1 kV で 1.0 nm という画期的な分解能を備えた超高分解能の電界放射型走査電子顕微鏡 (FE-SEM) です。
アップグレードされたカラムエンジニアリングプロセス、「SuperTunnel」テクノロジー、および高解像度対物レンズ設計の恩恵により、SEM5000X は低電圧イメージング解像度のさらなる向上を実現できます。試料室ポートは 16 まで拡張され、試料交換ロードロックは最大 8 インチのウェーハ サイズ (最大直径 208 mm) をサポートし、アプリケーションを大幅に拡大します。カバレッジ。高度なスキャン モードと強化された自動機能により、より強力なパフォーマンスとさらに最適化されたエクスペリエンスがもたらされます。
(*オプションのアクセサリ)
主要なパラメータ | 解決 | 0.6 nm @ 15 kV、SE 1.0 nm @ 1 kV、SE |
加速電圧 | 20V~30kV | |
倍率 | 1~250万× | |
電子銃の種類 | ショットキー電界放出型電子銃 | |
試料室 |
真空システム
|
完全自動制御 |
カメラ | デュアルカメラ (光学ナビゲーション + チャンバーモニター) | |
ステージタイプ | 5軸メカニカルユーセントリック試料ステージ | |
ステージ範囲 | X=110mm、Y=110mm、Z=65mm T:-10*~+70°、R:360° |
|
検出器と拡張機能 | 標準 | レンズ内検出器 エバーハート・ソーンリー検出器 (ETD) |
オプション | 格納式後方散乱電子検出器(BSED) 格納式走査型透過電子顕微鏡検出器 (STEM) エネルギー分散型分光計 (EDS) 後方散乱電子回折パターン (EBSD) 試料交換ロードロック (4" & 8" オプション) トラックボール&トラックボールノブコントロールパネル 試料ステージのタンデム減速 磁場と磁場音響ノイズエンクロージャシステム(SEMI認証) |
|
ソフトウェア | 言語 | 英語 |
オペレーティング·システム | ウィンドウズ |
|
ナビゲーション | ナビカメラ、ジェスチャークイックナビゲーション |
|
自動機能 | 自動明るさと明るさコントラスト、オートフォーカス、自動スティグマメーター |