CIQTEK DB500 は、ナノ分析および試料調製用の集束イオンビームカラムを備えた電界放射型走査電子顕微鏡であり、「スーパートンネル」技術、低収差、無磁性対物レンズ設計が適用され、低電圧および高分解能を備えています。ナノスケールの分析能力を保証する能力。イオンカラムは、非常に安定した高品質のイオンビームを備えた Ga+ 液体金属イオン源を促進し、ナノ加工能力を保証します。
DB500 は、統合されたナノマニピュレーター、ガス注入システム、対物レンズ用の電気的汚染防止機構、および 24 個の拡張ポートを備えており、包括的な構成と拡張性を備えた万能のナノ分析および製造プラットフォームとなっています。
• 高解像度イメージングに適し、磁気試料イメージングと互換性のある、磁気を含まない対物レンズを備えた「SuperTunnel」電子光学テクノロジー。
●安定性の高い高品質なイオンビームを出力する集束イオンビーム鏡筒で、高品位なナノ加工やTEM試料作製に適しています。
•正確な操作を実現する統合制御システムを備えた圧電駆動マニピュレータが試料室内に配置されています。
・拡張性に優れた独自開発システム。統合されたイオン源アセンブリ設計により、イオン源を迅速に交換できます。優れたサービスと 3 年間の保証が付属しています。
解像度: 3 nm@30 KV
プローブ電流(イオンビーム電流範囲):1 pA~50 nA
加速電圧範囲:500V~30kV
イオン源交換間隔: ≥1000 時間
安定性: 72 時間の連続動作
チャンバーは内部に取り付けられています
3軸全圧電駆動
ステッピングモーターの精度 ≤10 nm
最大移動速度 2mm/s
統合制御
単一の GIS デザイン
さまざまなガス前駆体ソースが利用可能
針挿入距離 ≥35 mm
動作再現性 ≤10 μm
加熱温度制御の再現性 ≤0.1℃
加熱範囲:室温~90℃
統合制御
電子ビーム装置 | 電子銃の種類 | 高輝度ショットキー電界放出型電子銃 |
解決 | 1.2nm@15kV | |
加速電圧 | 20V~30kV | |
イオンビームシステム | イオン源の種類 | 液体ガリウムイオン源 |
解決 | 3nm@30kV | |
加速電圧 | 500V~30kV | |
試料室 | 真空システム | 全自動制御オイルフリー真空システム |
カメラ |
3 台のカメラ (光学ナビゲーション+チャンバーモニター×2) |
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ステージタイプ | 5軸メカニカルユーセントリック試料ステージ | |
ステージ範囲 |
X=110mm、Y=110mm、Z=65mm T:-10°~+70°、R:360° |
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検出器と拡張機能 | 標準 |
レンズ内検出器 エバーハート・ソーンリー検出器 (ETD) |
オプション |
格納式後方散乱電子検出器 (BSED) 格納式走査型透過電子顕微鏡検出器 (STEM) エネルギー分散型分光計 (EDS) 後方散乱電子回折パターン (EBSD) ナノマニピュレーター ガスインジェクションシステム プラズマクリーナー 試料交換ロードロック トラックボールとノブのコントロールパネル |
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ソフトウェア | 言語 | 英語 |
オペレーティング·システム | ウィンドウズ | |
ナビゲーション | ナビカメラ、ジェスチャークイックナビゲーション | |
自動機能 | 自動明るさとコントラスト、自動フォーカス、自動スティグメーター |