CIQTEK SEM4000 は、高輝度・長寿命のショットキー電界放出型電子銃を搭載した分析用熱電界放出型走査電子顕微鏡です。
大きなビーム電流を連続的に調整できる 3 段階の磁気レンズ設計は、EDS、EBSD、WDS、およびその他のアプリケーションに明らかな利点をもたらします。低真空モードをサポートし、弱いサンプルまたは非導電性サンプルの導電率を直接観察できます。標準の光学式ナビゲーション モードと直感的な操作インターフェイスにより、分析作業が容易になります。
・高輝度、長寿命のショットキー電界放出型電子銃を搭載
•高分解能、30 kV で 1nm 分解能以上
•3 段階の磁気レンズ設計、広いビーム調整範囲
•*高性能低真空二次電子検出器、弱いサンプルまたは非導電性サンプルを観察
•漏れのない磁気対物レンズ設計により、磁性サンプルを直接観察できます
•標準の光学ナビゲーション モード
主要なパラメータ | 解決 | 1 nm @ 30 kV、SE 0.9 nm @ 30 kV、STEM |
加速電圧 | 200V~30kV | |
倍率 | 1~1,000,000× | |
電子銃 | 高輝度ショットキー電界放出型電子銃 | |
サンプルルーム | 真空システム | 全自動制御 |
低真空 (オプション) | 最大180Pa | |
カメラ | デュアルカメラ(光学式ナビゲーション+庫内モニタリング) | |
距離 | X:120mm Y:115mm Z:50mm T:-10°~+90° R:360° |
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検出器と拡張器 | 標準 | エバーハート・ソーンリー検出器 (ETD) |
オプション | 低真空検出器(LVD) 反射電子検出器 (BSE) STEM検出器 EDS EBSD エアロック トラックボール&トラックボールノブコントロールパネル |
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ソフトウェア | 言語 | 英語 |
OS | ウィンドウズ | |
ナビゲーション | 光学式ナビゲーション、ジェスチャーナビゲーション | |
自動機能 | 自動輝度コントラスト、オートフォーカス、自動非点収差 |